Tube en quartz
Plaque de quartz
Barre de quartz
Applications optiques
Industrie des semi-conducteurs
Applications de laboratoire et chimiques
Nos nacelles de recuit de plaquettes en quartz de haute pureté sont indispensables pour les processus thermiques critiques de la fabrication des semi-conducteurs, y compris la diffusion, l'oxydation et le recuit. Fabriquées à partir de silice fondue de première qualité, ces nacelles fendues offrent une stabilité thermique exceptionnelle à des températures de four extrêmes, une génération de particules ultra-faible et une inertie chimique supérieure pour éviter la contamination des plaquettes de silicium délicates. Conçues pour un positionnement précis des plaquettes et un flux de gaz optimal, nous proposons une large gamme de configurations standard et personnalisées pour s'intégrer parfaitement à vos systèmes de four et à vos exigences de processus spécifiques.
Remarques:
- Méthode de paiement: Par virement bancaire ou paiement anticipé, selon la quantité de la commande
- Délai de livraison: Selon la quantité de la commande
- Méthode de transport: Fret maritime ou fret aérien, selon le client
| Contenu des propriétés | Valeurs des propriétés |
|---|---|
| SiO2 | 99.99% |
| Densité | 2,2×10³ kg/cm³ |
| Dureté | Dureté Mohs de 5,5 à 6,5; Dureté Knoop 570 (sous une charge de 100g) |
| Résistance à la traction | 4,8 × 10⁷ Pa (48 N/mm² ou 48 MPa); 7 000 psi |
| Résistance à la compression | >1.1×10⁹ Pa (160,000 psi) |
| Coefficient de dilatation thermique | 5.5×10⁻⁷ cm/cm·°C (20°C-320°C) |
| Conductivité thermique | 1,4 W/m-°C |
| Chaleur spécifique | 670 J/kg-°C |
| Point de ramollissement | 1730°C (3146°F) |
| Point de recuit | 1210°C (2210°F) |
| Point de contrainte | 1120°C (2048°F) |
| Température de travail | 1200°C (2192°F) |
| Résistivité électrique | 7×10⁷ ohm cm (350°C) |
| Taille | Sur mesure |
| Logo | Personnalisation du logo disponible |
Stabilité et résistance aux températures extrêmes
Fabriquées à partir de silice fondue de haute pureté, ces nacelles peuvent résister aux températures intenses et prolongées courantes dans les processus de four à semi-conducteurs (par exemple, recuit, diffusion, oxydation) sans déformation, dévitrification ou dégazage, assurant un traitement thermique cohérent et fiable.
Contamination ultra-faible et haute pureté
La haute pureté inhérente du quartz (SiO2 ≥ 99,99%), combinée à des techniques de fabrication avancées, assure un minimum d'impuretés d'éléments traces et une génération de particules ultra-faible. Ceci est essentiel pour prévenir la contamination des plaquettes de silicium délicates, ce qui a un impact direct sur le rendement et la performance des dispositifs en microélectronique.
Excellente résistance aux chocs thermiques
Le coefficient de dilatation thermique extrêmement faible du quartz permet à ces nacelles de supporter des cycles de chauffage et de refroidissement rapides dans les environnements de four sans fissuration ni contrainte, ce qui conduit à une durée de vie plus longue et à une réduction des temps d'arrêt.
Conception à fentes de précision et personnalisation
Les fentes conçues avec précision assurent un positionnement sûr et précis des plaquettes, optimisant le flux de gaz et l'uniformité de la température pendant le traitement. De plus, ces nacelles sont entièrement personnalisables en termes de taille de plaquette (par exemple, 6″, 8″, 12″), de nombre de fentes, de pas et de dimensions globales pour s'intégrer parfaitement aux configurations de four et aux exigences de processus spécifiques.
Scénario d'application
Processus de diffusion des plaquettes semi-conductrices
Largement utilisées dans les fours de diffusion pour maintenir précisément les plaquettes de silicium lors de l'introduction de dopants (tels que le bore ou le phosphore) à haute température, assurant des profils de dopage uniformes sur l'ensemble de la plaquette.
Processus d'oxydation des plaquettes
Essentiels pour la croissance de fines couches de dioxyde de silicium (SiO2) sur les plaquettes dans les fours d'oxydation. La nacelle en quartz maintient l'intégrité et l'espacement des plaquettes, permettant une croissance uniforme de l'oxyde, essentielle pour l'isolation des dispositifs.
Recuit de plaquettes à haute température
Utilisées dans les fours de recuit pour réparer les dommages au réseau cristallin, activer les dopants implantés ou soulager les contraintes dans les plaquettes après diverses étapes de fabrication, toutes effectuées à des températures élevées.
Dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD)
Critiques pour le support des plaquettes lors du dépôt de diverses couches minces (par exemple, polysilicium, nitrure de silicium, dioxyde de silicium) dans les fours LPCVD, où la haute pureté et la stabilité thermique de la nacelle préviennent la contamination et assurent une épaisseur de film uniforme.
Manipuler avec soin
Les produits en verre de quartz sont fabriqués à partir de matériaux précieux et doivent être manipulés avec douceur pour éviter les collisions et les chutes
Maintenance régulière
L'entretien des tubes de quartz doit être effectué régulièrement pour assurer leur performance stable à long terme. Vérifiez régulièrement les connexions, les fixations et les vibrations mécaniques des tubes de quartz afin de prévenir les anomalies. L'extérieur des tubes de quartz est sujet à la contamination par la poussière et l'humidité, ils doivent donc être nettoyés régulièrement
Environnement de stockage
Lors du stockage des tubes de quartz, il convient de veiller à éviter l'exposition aux vibrations mécaniques, aux chocs et aux températures excessivement élevées afin de prévenir la dégradation du matériau. Ils doivent être conservés dans un endroit sec, frais et bien ventilé, en évitant la lumière directe du soleil et les environnements à haute température.
Oui, nos nacelles de recuit de plaquettes en quartz sont méticuleusement conçues avec des dimensions précises et une construction robuste pour assurer une intégration transparente avec la plupart des systèmes standard de chargement et de déchargement de four automatisés, y compris les mécanismes à cantilever et à palette. Cela permet un transfert de plaquettes efficace et fiable dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs à grand volume.
La durée de vie d'une nacelle de plaquettes en quartz varie en fonction de paramètres de processus spécifiques tels que la température, la fréquence des cycles et l'exposition chimique. Cependant, avec une manipulation appropriée et un entretien régulier, elles peuvent durer de nombreuses années. Un nettoyage régulier (par exemple, en utilisant de l'acide fluorhydrique dilué ou d'autres agents d'attaque appropriés) est essentiel pour éliminer les films déposés et prévenir la dévitrification, ce qui peut prolonger considérablement leur durée de vie opérationnelle et maintenir l'intégrité du processus.
Les fentes usinées avec précision et la structure ouverte globale de la nacelle en quartz sont spécifiquement conçues pour permettre un flux de gaz optimal et uniforme autour de chaque plaquette. Cela assure une distribution constante de la température sur toutes les plaquettes à l'intérieur de la nacelle et dans l'ensemble du tube du four, ce qui est essentiel pour obtenir un dépôt de film uniforme, des profils de dopage et une répétabilité globale du processus lors des traitements thermiques à haute température tels que la diffusion et l'oxydation.
Perçage laser du quartz
Tube de quartz fileté
Filetage extérieur sur tube de quartz
Tube en quartz à filetage intérieur
Tube en quartz fendu / Tube en quartz à fentes
Fenêtre sur tube de quartz
Tube en quartz à coupe angulaire
Dalle de quartz
Tube en quartz avec fenêtre
Questions fréquemment posées
Nous sommes spécialisés dans la fabrication intégrée de composants en verre de quartz de haute pureté. Nos principales gammes de produits comprennent :
Tubes et barres de quartz: Une large gamme de diamètres et de spécifications.
Plaques et disques de quartz: Découpés et polis avec précision pour usages optiques et industriels.
Verrerie de laboratoire en quartz: Une gamme complète de verrerie standard et sur mesure, incluant béchers, fioles et nacelles.
Quartz de qualité semi-conducteur: Composants de haute pureté tels que les tubes de traitement et les porteurs pour la fabrication de semi-conducteurs.
Composants fabriqués sur mesure: Nous pouvons produire des pièces complexes adaptées à vos conceptions et spécifications uniques.
Oui. La fabrication sur mesure est au cœur de notre activité. Forts de plus d'une décennie d'expérience spécialisée, nous nous associons à des entreprises pour leur offrir des services OEM/ODM experts. Nos capacités incluent le soudage, la rectification, le perçage, le polissage, le pliage et d'autres techniques d'usinage de précision, afin de créer des composants qui répondent précisément à vos exigences.
La qualité est primordiale dans notre processus de fabrication. Nous sommes un fabricant certifié ISO 9001:2015, garantissant que nos processus répondent aux normes internationales de gestion de la qualité.Nos produits subissent également des tests SGS rigoureux pour leur pureté et leurs performances. Nous utilisons des matières premières de haute pureté (jusqu'à 99,998% de SiO2) pour produire des articles en quartz fondu et en silice fondue dotés d'une stabilité thermique exceptionnelle, d'une résistance aux températures élevées et d'une inertie chimique.
Nous avons rationalisé notre processus pour qu'il soit le plus efficace possible :
Soumettez votre demande de devis (RFQ) : Envoyez-nous vos dessins techniques, spécifications et exigences via notre formulaire de contact sur le site web ou par e-mail.
Réponse rapide : Vous pouvez vous attendre à une première réponse en quelques minutes et à une communication détaillée dans la demi-heure.
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