Nos cuves de nettoyage de plaquettes et bains de traitement humide en quartz de haute pureté sont méticuleusement conçus pour les applications les plus critiques de la fabrication de semi-conducteurs, photovoltaïques et microélectroniques. Fabriquées à partir de silice fondue ultra-pure, ces cuves offrent une résistance chimique inégalée aux acides forts, aux bases et aux solutions de nettoyage agressives, garantissant une contamination métallique ou particulaire nulle de vos plaquettes et composants sensibles. Leur conception robuste et transparente permet une surveillance précise du processus et un nettoyage facile, offrant un environnement fiable et sans contamination pour les processus de gravure, de rinçage et de nettoyage RCA. Disponibles avec ou sans racks intégrés et entièrement personnalisables pour répondre aux dimensions spécifiques des plaquettes, aux volumes de processus et aux exigences d'équipement.

Remarques:
- Méthode de paiement: Par virement bancaire ou paiement anticipé, selon la quantité de la commande
- Délai de livraison: Selon la quantité de la commande
- Méthode de transport: Fret maritime ou fret aérien, selon le client
| Contenu des propriétés | Valeurs des propriétés |
|---|---|
| SiO2 | 99.99% |
| Densité | 2,2×10³ kg/cm³ |
| Dureté | Dureté Mohs de 5,5 à 6,5; Dureté Knoop 570 (sous une charge de 100g) |
| Résistance à la traction | 4,8 × 10⁷ Pa (48 N/mm² ou 48 MPa); 7 000 psi |
| Résistance à la compression | >1.1×10⁹ Pa (160,000 psi) |
| Coefficient de dilatation thermique | 5.5×10⁻⁷ cm/cm·°C (20°C-320°C) |
| Conductivité thermique | 1,4 W/m-°C |
| Chaleur spécifique | 670 J/kg-°C |
| Point de ramollissement | 1730°C (3146°F) |
| Point de recuit | 1210°C (2210°F) |
| Point de contrainte | 1120°C (2048°F) |
| Température de travail | 1200°C (2192°F) |
| Résistivité électrique | 7×10⁷ ohm cm (350°C) |
| Taille | Sur mesure |
| Logo | Personnalisation du logo disponible |
Ultra-haute pureté & Zéro contamination
Fabriqués à partir de silice fondue (Fused Silica) d'une pureté de 99,99%, ces réservoirs garantissent pratiquement aucune lixiviation d'ions métalliques ni contamination particulaire dans les produits chimiques de traitement. Ceci est absolument essentiel pour atteindre les exigences strictes de propreté dans la fabrication de semi-conducteurs, de microélectronique et de matériaux avancés.
Résistance exceptionnelle à la corrosion chimique
Le quartz présente une inertie supérieure à une large gamme d'acides agressifs, de bases fortes et de solvants organiques couramment utilisés dans le nettoyage de wafers, la gravure et le traitement humide. Cela prolonge la durée de vie du réservoir, réduit les coûts de remplacement et assure la cohérence du processus.
Visibilité et contrôle optimaux des processus
La transparence inhérente du quartz permet un suivi visuel clair des processus de nettoyage ou de gravure, rendant possible l'observation en temps réel des réactions chimiques et de la dynamique des fluides. Ceci contribue à l'optimisation des processus et au contrôle qualité, garantissant des résultats précis et reproductibles.
Construction robuste & Personnalisation
Fabriquées en verre de quartz solide et durable, ces cuves offrent une excellente résistance mécanique et une stabilité thermique. De manière cruciale, elles sont entièrement personnalisables en termes de dimensions, de volume, de configurations internes des racks (pour le maintien des wafers) et de conception des ports, permettant une intégration transparente dans les bancs humides existants et des solutions sur mesure pour des besoins de processus spécifiques.
Scénario d'application
Nettoyage de wafers semi-conducteurs (ex: nettoyage RCA)
Indispensables pour la réalisation des diverses étapes du nettoyage de wafers, y compris le nettoyage RCA (Radio Corporation of America), standard de l'industrie, où plusieurs cuves sont utilisées avec des solutions chimiques spécifiques (par ex. SC-1, SC-2, HF dilué) pour éliminer les contaminants organiques, métalliques et particulaires des wafers de silicium.
Gravure chimique & Préparation de surface
Utilisé pour la gravure de précision des wafers semi-conducteurs, des substrats en verre ou d'autres matériaux délicats, où l'élimination contrôlée de matière ou la modification de surface est réalisée à l'aide d'agents de gravure hautement corrosifs. La cuve en quartz assure une gravure uniforme et l'absence de contamination.
Fabrication de MEMS et de dispositifs microfluidiques
Crucial pour les processus de nettoyage et de gravure humide impliqués dans la fabrication de Systèmes Micro-Électro-Mécaniques (MEMS) et de dispositifs microfluidiques, où des caractéristiques extrêmement petites et une grande pureté des matériaux sont requises.
Manipuler avec soin
Les produits en verre de quartz sont fabriqués à partir de matériaux précieux et doivent être manipulés avec douceur pour éviter les collisions et les chutes
Maintenance régulière
L'entretien des tubes de quartz doit être effectué régulièrement pour assurer leur performance stable à long terme. Vérifiez régulièrement les connexions, les fixations et les vibrations mécaniques des tubes de quartz afin de prévenir les anomalies. L'extérieur des tubes de quartz est sujet à la contamination par la poussière et l'humidité, ils doivent donc être nettoyés régulièrement
Environnement de stockage
Lors du stockage des tubes de quartz, il convient de veiller à éviter l'exposition aux vibrations mécaniques, aux chocs et aux températures excessivement élevées afin de prévenir la dégradation du matériau. Ils doivent être conservés dans un endroit sec, frais et bien ventilé, en évitant la lumière directe du soleil et les environnements à haute température.
Oui, le quartz de haute pureté offre une résistance chimique exceptionnelle à la plupart des acides concentrés (y compris nitrique, sulfurique, chlorhydrique) et des bases fortes couramment utilisés dans les processus de nettoyage semi-conducteurs et industriels. Cette inertie assure la longévité de la cuve et prévient la contamination de vos produits chimiques et wafers précieux. Cependant, une exposition prolongée à l'acide fluorhydrique (HF) concentré chaud ou à l'acide phosphorique concentré chaud peut entraîner une gravure au fil du temps.
Grâce à la surface lisse et non poreuse du quartz, ces cuves sont relativement faciles à nettoyer. Un rinçage régulier à l'eau déionisée (DI) après utilisation est recommandé. Pour les résidus plus tenaces, des détergents doux ou des solutions de nettoyage diluées appropriées peuvent être utilisés. Évitez les brosses abrasives ou les nettoyants qui pourraient rayer la surface. Une manipulation appropriée pour prévenir les chocs ou les chocs thermiques (bien que le quartz ait une excellente résistance) assurera une durée de vie maximale.
La conception varie ; certaines cuves sont des systèmes intégrés avec des racks internes fixes, tandis que d'autres sont conçues comme des bains où des racks en quartz séparés et amovibles peuvent être insérés. Nous proposons les deux types, et surtout, nos produits sont hautement personnalisables. Si vous avez des tailles de wafers spécifiques, des volumes de traitement ou des configurations de racks uniques à l'esprit, nous pouvons concevoir et fabriquer un système qui répondra précisément à vos exigences, y compris des conceptions de racks amovibles ou spécialisées.
Questions fréquemment posées
Nous sommes spécialisés dans la fabrication intégrée de composants en verre de quartz de haute pureté. Nos principales gammes de produits comprennent :
Tubes et barres de quartz: Une large gamme de diamètres et de spécifications.
Plaques et disques de quartz: Découpés et polis avec précision pour usages optiques et industriels.
Verrerie de laboratoire en quartz: Une gamme complète de verrerie standard et sur mesure, incluant béchers, fioles et nacelles.
Quartz de qualité semi-conducteur: Composants de haute pureté tels que les tubes de traitement et les porteurs pour la fabrication de semi-conducteurs.
Composants fabriqués sur mesure: Nous pouvons produire des pièces complexes adaptées à vos conceptions et spécifications uniques.
Oui. La fabrication sur mesure est au cœur de notre activité. Forts de plus d'une décennie d'expérience spécialisée, nous nous associons à des entreprises pour leur offrir des services OEM/ODM experts. Nos capacités incluent le soudage, la rectification, le perçage, le polissage, le pliage et d'autres techniques d'usinage de précision, afin de créer des composants qui répondent précisément à vos exigences.
La qualité est primordiale dans notre processus de fabrication. Nous sommes un fabricant certifié ISO 9001:2015, garantissant que nos processus répondent aux normes internationales de gestion de la qualité.Nos produits subissent également des tests SGS rigoureux pour leur pureté et leurs performances. Nous utilisons des matières premières de haute pureté (jusqu'à 99,998% de SiO2) pour produire des articles en quartz fondu et en silice fondue dotés d'une stabilité thermique exceptionnelle, d'une résistance aux températures élevées et d'une inertie chimique.
Nous avons rationalisé notre processus pour qu'il soit le plus efficace possible :
Soumettez votre demande de devis (RFQ) : Envoyez-nous vos dessins techniques, spécifications et exigences via notre formulaire de contact sur le site web ou par e-mail.
Réponse rapide : Vous pouvez vous attendre à une première réponse en quelques minutes et à une communication détaillée dans la demi-heure.
Conception & Proposition : Nous vous soumettrons une proposition de conception détaillée et un devis compétitif sous 24 heures.
Prototypage & Production : Dès approbation, nous passons rapidement du prototypage à la production à grande échelle afin de respecter vos délais.
Un partenariat avec Aoxin Quartz offre plusieurs avantages clés :
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