水晶管
石英プレート
クォーツロッド
光学応用
半導体産業
ラボおよび化学用途
当社の高純度石英製ウェーハ洗浄槽およびウェット処理槽は、半導体、太陽光発電、マイクロエレクトロニクス製造における最も重要な用途のために綿密に設計されています。超高純度溶融石英から作られたこれらの槽は、強酸、塩基、および強力な洗浄液に対する比類ない耐薬品性を提供し、デリケートなウェーハや部品への金属または粒子汚染を確実にゼロにします。堅牢で透明な設計により、精密なプロセスモニタリングと容易な洗浄が可能であり、エッチング、リンス、RCA洗浄プロセス向けに信頼性の高い汚染のない環境を提供します。統合型ラックの有無を選択可能で、特定のウェーハサイズ、プロセス容量、および装置要件に合わせて完全にカスタマイズできます。
備考：
- 支払い方法：ご注文数量に応じて、銀行振込または前払い
- 納期：ご注文数量によります
- 輸送方法：お客様のご要望に応じて、海上輸送または航空輸送
| 特性内容 | 特性値 |
|---|---|
| SiO2 | 99.99% |
| 密度 | 2.2×10³ kg/cm³ |
| 硬度 | モース硬度 5.5～6.5; ヌープ硬度 570 (荷重100g) |
| 引張強度 | 4.8 × 10⁷ Pa (48 N/mm² または 48 MPa); 7,000 psi |
| 圧縮強度 | >1.1×10⁹ Pa (160,000 psi) |
| 熱膨張係数 | 5.5×10⁻⁷ cm/cm·°C (20°C-320°C) |
| 熱伝導率 | 1.4 W/m-°C |
| 比熱 | 670 J/kg-°C |
| 軟化点 | 1730度C（3146度F） |
| 徐冷点 | 1210度C（2210度F） |
| 歪点 | 1120度C（2048度F） |
| 使用温度 | 1200°C |
| 電気抵抗率 | 7×10⁷Ωcm (350°C) |
| サイズ | カスタマイズ対応 |
| ロゴ | ロゴのカスタマイズ対応 |
超高純度＆ゼロコンタミネーション
99.99%の高純度溶融石英から製造されたこれらのタンクは、プロセス化学物質への金属イオンの溶出や粒子状汚染を事実上ゼロに抑えます。これは、半導体、マイクロエレクトロニクス、および先端材料製造における厳格な清浄度要件を達成するために極めて重要です。
優れた耐薬品性・耐腐食性
石英は、ウェーハ洗浄、エッチング、ウェットプロセスで一般的に使用される広範な強酸、強塩基、有機溶剤に対して優れた不活性性を示します。これにより、槽の寿命が延び、交換コストが削減され、工程の一貫性が確保されます。
最適なプロセス可視性＆制御性
石英が持つ本来の透明性は、洗浄やエッチングプロセスを明確に視覚的に監視することを可能にし、化学反応や流体力学のリアルタイム観察を可能にします。これにより、プロセス最適化と品質管理が促進され、高精度で再現性のある結果が保証されます。
堅牢な構造とカスタマイズ性
強靭で耐久性のある石英ガラス製であるこれらの槽は、優れた機械的強度と熱安定性を提供します。特に重要なのは、寸法、容量、内部ラック構成（ウェーハ保持用）、およびポート設計に関して完全にカスタマイズ可能であり、既存のウェットベンチへのシームレスな統合と、特定のプロセスニーズに合わせたソリューションを可能にすることです。
アプリケーションシナリオ
半導体ウェーハ洗浄 (例: RCA洗浄)
業界標準であるRCA（Radio Corporation of America）洗浄を含む、ウェーハ洗浄の様々な工程を実行するために不可欠です。このプロセスでは、シリコンウェーハから有機汚染物質、金属汚染物質、およびパーティクル汚染物質を除去するために、複数の槽でSC-1、SC-2、希釈HFなどの特定の化学溶液が使用されます。
化学エッチングと表面処理
半導体ウェーハ、ガラス基板、またはその他のデリケートな材料の精密エッチングに使用されます。このプロセスでは、高腐食性エッチング液を使用して、材料の制御された除去または表面改質が行われます。石英槽は均一なエッチングと汚染のないプロセスを保証します。
太陽光発電（太陽電池）製造
太陽電池生産におけるウェットプロセス工程、例えばシリコンウェーハのテクスチャリング、洗浄、化学研磨などに用いられ、効率を向上させ、後続層のための表面を準備します。
MEMS・マイクロ流体デバイス製造
MEMS（微小電気機械システム）およびマイクロ流体デバイスの製造における洗浄およびウェットエッチングプロセスに不可欠です。これらのプロセスでは、極めて微細な構造と高い材料純度が要求されます。
取扱注意
石英ガラス製品は貴重な材料で作られているため、衝突や落下を避けるため慎重に取り扱う必要があります
定期メンテナンス
石英管のメンテナンスは、その長期的な安定した性能を確保するため、定期的に実施する必要があります。異常の発生を防ぐため、石英管の接続部、固定具、機械的振動を定期的に点検してください。石英管の外面は、ほこりや湿気による汚染を受けやすいため、定期的な清掃が必要です
保管環境
石英チューブを保管する際は、材料の劣化を防ぐため、機械的振動、衝撃、および過度に高い温度への曝露を避けるよう注意が必要です。乾燥した涼しく換気の良い場所に保管し、直射日光や高温環境を避けてください
はい、高純度石英は、半導体および産業用洗浄プロセスで一般的に使用されるほとんどの濃縮酸（硝酸、硫酸、塩酸を含む）および強塩基に対して優れた耐薬品性を示します。この不活性性により、槽の長寿命が保証され、貴重な化学物質やウェーハの汚染を防ぎます。ただし、高温の濃縮フッ酸（HF）または高温の濃縮リン酸に長時間さらされると、時間の経過とともにエッチングが発生する可能性があります。
石英の滑らかで非多孔性の表面により、これらの槽は比較的清掃が容易です。使用後は、脱イオン水（DI水）で定期的にすすぐことを推奨します。より頑固な残留物には、中性洗剤または適切な希釈洗浄液を使用できます。表面を傷つける可能性のある研磨ブラシや洗浄剤は避けてください。衝撃や熱衝撃を防ぐための適切な取り扱い（石英は優れた耐性を持っていますが）により、最大限の寿命が保証されます。
設計は多岐にわたります。一部の槽は内部ラックが固定された統合システムとして設計されており、その他は取り外し可能な個別の石英ラックを挿入できる槽として設計されています。当社では両方のタイプを提供しており、重要な点として、当社の製品は高度にカスタマイズ可能です。特定のウェーハサイズ、処理量、または独自のラック構成をご希望の場合、取り外し可能なラックや特殊なラック設計を含め、お客様の要件を正確に満たすシステムを設計・製造いたします。
よくある質問
当社は、高純度石英ガラス部品の一貫製造を専門としております。主な製品ラインナップは以下の通りです：
石英管・石英棒: 幅広い直径と仕様。
石英プレート・ディスク: 光学および工業用途向けに精密に切断・研磨。
石英実験器具: ビーカー、フラスコ、ボートなど、標準品から特注品まで幅広い種類のガラス器具。
半導体グレード石英: 半導体製造用のプロセスチューブやキャリアなどの高純度部品。
特注加工部品: お客様固有の設計および仕様に合わせて、複雑な部品を製造できます。
はい。特注加工（カスタム加工）は、当社の事業の中核です。10年以上にわたる専門的な経験を活かし、お客様企業と提携し、専門的なOEM/ODMサービスを提供しております。当社の加工技術には、溶接、研削、穴あけ、研磨、曲げ加工、その他さまざまな精密加工技術が含まれており、お客様の厳密なご要望にお応えする部品を製造いたします。
品質は当社の製造プロセスにおいて最も重要です。当社はISO 9001:2015認証取得メーカーであり、当社のプロセスが国際的な品質管理基準を満たしていることを保証します。また、当社の製品は純度と性能に関して厳格なSGS試験を受けています。当社は高純度原材料（SiO2 99.998%まで）を使用し、優れた熱安定性、高温耐性、化学的不活性を持つ溶融石英および溶融シリカ製品を製造しています。
当社はプロセスを最大限に効率化しました：
RFQ（見積依頼）を提出：ウェブサイトのお問い合わせフォームまたはEメールで、技術図面、仕様、要件をお送りください。
迅速な対応: 数分以内に初回返信を、30分以内に詳細なご連絡を差し上げます。
設計・提案：24時間以内に詳細な設計提案と競争力のある見積もりをお届けします。
試作・生産：承認後、お客様の納期に間に合わせるため、迅速に試作から本格的な量産へと移行いたします。
Aoxin Quartzとの提携には、いくつかの重要なメリットがあります：
実証された専門知識：業界で10年以上の経験を持つ当社には、複雑な課題に取り組むための技術的知見があります。
One-Stop Solution: We manage the entire production process, from sourcing high-purity raw materials to fabricating and finishing complex components.
競争力のある価値：主要な石英生産拠点に位置することで、効率的なサプライチェーンと先進的な製造技術を活用し、競争力のある価格で卓越した品質を提供しています。
Dedicated Partnership: Over 90% of our clients become long-term partners. We are committed to your success through responsive service, reliable quality, and innovative solutions.
