私たちの高純度の石英ボートキャリアは、精密に製造された融解シリカコンポーネントであり、厳しい半導体プロセスにおける自動ウェーハ処理に不可欠です。拡散炉、酸化システム、クリーニングステーション間で石英ボートまたはウェーハカセットの安定的で汚染のない移動を実現するために設計されたこれらのカスタムキャリアは、シームレスな統合と信頼性のある操作を保証します。石英の卓越した熱安定性、化学的惰性、超低不純物レベルを活用して、私たちのソリューションはウェーハ処理の効率と歩留まりを最適化します。
特性内容 | 特性値 |
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SiO2 | 99.99% |
密度 | 2.2×10³ kg/cm³ |
硬度 | モース硬度 5.5~6.5; ヌープ硬度 570 (荷重100g) |
引張強度 | 4.8 × 10⁷ Pa (48 N/mm² または 48 MPa); 7,000 psi |
圧縮強度 | >1.1×10⁹ Pa (160,000 psi) |
熱膨張係数 | 5.5×10⁻⁷ cm/cm·°C (20°C-320°C) |
熱伝導率 | 1.4 W/m-°C |
比熱 | 670 J/kg-°C |
軟化点 | 1730度C(3146度F) |
徐冷点 | 1210度C(2210度F) |
歪点 | 1120度C(2048度F) |
使用温度 | 1200°C |
電気抵抗率 | 7×10⁷Ωcm (350°C) |
サイズ | カスタマイズ対応 |
ロゴ | ロゴのカスタマイズ対応 |
高温耐性
石英は摂氏1713度の融点を持ち、これにより石英ボートキャリアは高温環境下で安定性を維持し、太陽光発電および半導体産業における高温プロセスの要求を満たします。
耐食性
石英はほとんどの酸、塩基、有機溶剤に対して優れた耐性を有しており、これにより石英ボートキャリアが化学処理プロセス中に容易に損傷しないことを保証します。
高い光透過率
石英の高い光透過率は光学用途でしばしば利用されますが、石英ボートキャリアにおいては、この特性は主に光の制御された吸収と反射として現れ、プロセス環境の安定化に貢献します。
石英ボートキャリアは、主に石英ボートを搬送および支持するために使用される装置であり、半導体製造装置、特に太陽光発電産業の拡散炉において重要な支持構成要素として機能します。
石英ボートキャリアは、主に半導体製造、太陽光発電産業、およびシリコンウェーハやその他の薄膜材料の処理が必要な他の分野で使用されます。半導体製造においては、ウェーハ処理、熱処理、および化学反応工程で利用されます。
石英ボートキャリアは比較的短い寿命(通常3~6ヶ月)である一方、炭化ケイ素ボートキャリアは5年以上にも及ぶより長い寿命を持ちます。炭化ケイ素ボートキャリアは、その優れた高温強度と長期的な耐久性により、特定の条件下で石英ボートキャリアを徐々に代替しつつあります。
よくある質問
当社は、高純度石英ガラス部品の一貫製造を専門としております。主な製品ラインナップは以下の通りです:
石英管・石英棒: 幅広い直径と仕様。
石英プレート・ディスク: 光学および工業用途向けに精密に切断・研磨。
石英実験器具: ビーカー、フラスコ、ボートなど、標準品から特注品まで幅広い種類のガラス器具。
半導体グレード石英: 半導体製造用のプロセスチューブやキャリアなどの高純度部品。
特注加工部品: お客様固有の設計および仕様に合わせて、複雑な部品を製造できます。
はい。特注加工(カスタム加工)は、当社の事業の中核です。10年以上にわたる専門的な経験を活かし、お客様企業と提携し、専門的なOEM/ODMサービスを提供しております。当社の加工技術には、溶接、研削、穴あけ、研磨、曲げ加工、その他さまざまな精密加工技術が含まれており、お客様の厳密なご要望にお応えする部品を製造いたします。
品質は当社の製造プロセスにおいて最も重要です。当社はISO 9001:2015認証取得メーカーであり、当社のプロセスが国際的な品質管理基準を満たしていることを保証します。また、当社の製品は純度と性能に関して厳格なSGS試験を受けています。当社は高純度原材料(SiO2 99.998%まで)を使用し、優れた熱安定性、高温耐性、化学的不活性を持つ溶融石英および溶融シリカ製品を製造しています。
当社はプロセスを最大限に効率化しました:
RFQ(見積依頼)を提出:ウェブサイトのお問い合わせフォームまたはEメールで、技術図面、仕様、要件をお送りください。
迅速な対応: 数分以内に初回返信を、30分以内に詳細なご連絡を差し上げます。
設計・提案:24時間以内に詳細な設計提案と競争力のある見積もりをお届けします。
試作・生産:承認後、お客様の納期に間に合わせるため、迅速に試作から本格的な量産へと移行いたします。
Aoxin Quartzとの提携には、いくつかの重要なメリットがあります:
実証された専門知識:業界で10年以上の経験を持つ当社には、複雑な課題に取り組むための技術的知見があります。
One-Stop Solution: We manage the entire production process, from sourcing high-purity raw materials to fabricating and finishing complex components.
競争力のある価値:主要な石英生産拠点に位置することで、効率的なサプライチェーンと先進的な製造技術を活用し、競争力のある価格で卓越した品質を提供しています。
Dedicated Partnership: Over 90% of our clients become long-term partners. We are committed to your success through responsive service, reliable quality, and innovative solutions.