水晶管
石英プレート
クォーツロッド
光学応用
半導体産業
ラボおよび化学用途
当社の高純度石英ウェーハアニーリングボートは、拡散、酸化、アニーリングを含む半導体製造における重要な熱プロセスに不可欠です。プレミアム溶融石英から製造されたこれらのスロット付きボートは、極限の炉温度での優れた温度安定性、超低パーティクル発生、および繊細なシリコンウェーハの汚染を防ぐための優れた化学的不活性を提供します。精密なウェーハ位置決めと最適なガス流量のために設計されており、お客様の特定の炉システムとプロセス要件にシームレスに統合できるよう、幅広い標準およびカスタム構成を提供しています。
備考：
- 支払い方法：ご注文数量に応じて、銀行振込または前払い
- 納期：ご注文数量によります
- 輸送方法：お客様のご要望に応じて、海上輸送または航空輸送
| 特性内容 | 特性値 |
|---|---|
| SiO2 | 99.99% |
| 密度 | 2.2×10³ kg/cm³ |
| 硬度 | モース硬度 5.5～6.5; ヌープ硬度 570 (荷重100g) |
| 引張強度 | 4.8 × 10⁷ Pa (48 N/mm² または 48 MPa); 7,000 psi |
| 圧縮強度 | >1.1×10⁹ Pa (160,000 psi) |
| 熱膨張係数 | 5.5×10⁻⁷ cm/cm·°C (20°C-320°C) |
| 熱伝導率 | 1.4 W/m-°C |
| 比熱 | 670 J/kg-°C |
| 軟化点 | 1730度C（3146度F） |
| 徐冷点 | 1210度C（2210度F） |
| 歪点 | 1120度C（2048度F） |
| 使用温度 | 1200°C |
| 電気抵抗率 | 7×10⁷Ωcm (350°C) |
| サイズ | カスタマイズ対応 |
| ロゴ | ロゴのカスタマイズ対応 |
極めて高い耐熱性と安定性
高純度溶融石英から製造されたこれらのボートは、半導体炉プロセス（例：アニーリング、拡散、酸化）で一般的な、高強度で長時間にわたる温度に耐えることができ、反り、失透、アウトガス発生を起こさずに、一貫性のある信頼性の高い熱処理を保証します。
超低汚染と高純度
石英（SiO2 ≥ 99.99%）本来の高純度と高度な製造技術の組み合わせにより、微量元素不純物とパーティクル発生を最小限に抑えます。これは、マイクロエレクトロニクスにおけるデバイスの歩留まりと性能に直接影響を与える、繊細なシリコンウェーハの汚染を防ぐために不可欠です。
優れた耐熱衝撃性
石英の極めて低い熱膨張係数により、これらのボートは炉環境における急激な加熱・冷却サイクルに、ひび割れや応力を生じることなく耐えることができ、結果として長寿命化とダウンタイムの短縮を実現します。
精密スロット設計とカスタマイズ性
精密に設計されたスロットは、ウェーハを確実かつ正確に位置決めし、処理中のガス流量と温度均一性を最適化します。さらに、これらのボートは、ウェーハサイズ（例：6インチ、8インチ、12インチ）、スロット数、ピッチ、および全体寸法に関して完全にカスタマイズ可能であり、特定の炉構成とプロセス要件にシームレスに統合できます。
アプリケーションシナリオ
半導体ウェーハ拡散プロセス
拡散炉において、高温下でのドーパント（ホウ素やリンなど）導入中にシリコンウェーハを正確に保持するために広く使用され、ウェーハ全体にわたる均一なドーピングプロファイルを保証します。
ウェーハ酸化プロセス
酸化炉において、ウェーハ上に薄い二酸化ケイ素（SiO2）層を成長させるために不可欠です。石英ボートはウェーハの完全性と間隔を維持し、デバイス絶縁に不可欠な均一な酸化膜成長を可能にします。
高温ウェーハアニーリング
アニーリング炉で使用され、様々な製造工程後のウェーハの結晶格子損傷の修復、イオン注入されたドーパントの活性化、または応力緩和のために、すべて高温下で行われます。
低圧化学気相成長 (LPCVD)
LPCVD炉において、様々な薄膜（例：ポリシリコン、窒化ケイ素、二酸化ケイ素）の成膜中にウェーハを支持するために不可欠です。この際、ボートの高純度と温度安定性により、汚染を防ぎ、均一な膜厚を保証します。
取扱注意
石英ガラス製品は貴重な材料で作られているため、衝突や落下を避けるため慎重に取り扱う必要があります
定期メンテナンス
石英管のメンテナンスは、その長期的な安定した性能を確保するため、定期的に実施する必要があります。異常の発生を防ぐため、石英管の接続部、固定具、機械的振動を定期的に点検してください。石英管の外面は、ほこりや湿気による汚染を受けやすいため、定期的な清掃が必要です
保管環境
石英チューブを保管する際は、材料の劣化を防ぐため、機械的振動、衝撃、および過度に高い温度への曝露を避けるよう注意が必要です。乾燥した涼しく換気の良い場所に保管し、直射日光や高温環境を避けてください
はい、当社の石英ウェーハアニーリングボートは、カンチレバーやパドル機構を含むほとんどの標準的な自動炉ローディングおよびアンローディングシステムとシームレスに統合できるよう、精密な寸法と堅牢な構造で細心の注意を払って設計されています。これにより、大量半導体製造環境において効率的で信頼性の高いウェーハ搬送が可能になります。
石英ウェーハボートの寿命は、温度、サイクル頻度、化学物質への曝露といった特定のプロセスパラメータによって異なります。しかし、適切な取り扱いと定期的なメンテナンスを行うことで、何年も使用することができます。堆積した膜を除去し、失透を防ぐために定期的なクリーニング（例えば、希フッ化水素酸やその他の適切なエッチング剤の使用）が不可欠であり、これにより運用寿命を大幅に延ばし、プロセスの一貫性を維持することができます。
精密に加工されたスロットと石英ボート全体の開放型フレームワークは、各ウェーハの周囲に最適かつ均一なガス流量を可能にするよう特別に設計されています。これにより、ボート内のすべてのウェーハと炉管全体にわたって一貫した温度分布が保証され、これは拡散や酸化のような高温熱処理中に均一な膜堆積、ドーピングプロファイル、および全体的なプロセス再現性を達成するために不可欠です。
よくある質問
当社は、高純度石英ガラス部品の一貫製造を専門としております。主な製品ラインナップは以下の通りです：
石英管・石英棒: 幅広い直径と仕様。
石英プレート・ディスク: 光学および工業用途向けに精密に切断・研磨。
石英実験器具: ビーカー、フラスコ、ボートなど、標準品から特注品まで幅広い種類のガラス器具。
半導体グレード石英: 半導体製造用のプロセスチューブやキャリアなどの高純度部品。
特注加工部品: お客様固有の設計および仕様に合わせて、複雑な部品を製造できます。
はい。特注加工（カスタム加工）は、当社の事業の中核です。10年以上にわたる専門的な経験を活かし、お客様企業と提携し、専門的なOEM/ODMサービスを提供しております。当社の加工技術には、溶接、研削、穴あけ、研磨、曲げ加工、その他さまざまな精密加工技術が含まれており、お客様の厳密なご要望にお応えする部品を製造いたします。
品質は当社の製造プロセスにおいて最も重要です。当社はISO 9001:2015認証取得メーカーであり、当社のプロセスが国際的な品質管理基準を満たしていることを保証します。また、当社の製品は純度と性能に関して厳格なSGS試験を受けています。当社は高純度原材料（SiO2 99.998%まで）を使用し、優れた熱安定性、高温耐性、化学的不活性を持つ溶融石英および溶融シリカ製品を製造しています。
当社はプロセスを最大限に効率化しました：
RFQ（見積依頼）を提出：ウェブサイトのお問い合わせフォームまたはEメールで、技術図面、仕様、要件をお送りください。
迅速な対応: 数分以内に初回返信を、30分以内に詳細なご連絡を差し上げます。
設計・提案：24時間以内に詳細な設計提案と競争力のある見積もりをお届けします。
試作・生産：承認後、お客様の納期に間に合わせるため、迅速に試作から本格的な量産へと移行いたします。
Aoxin Quartzとの提携には、いくつかの重要なメリットがあります：
実証された専門知識：業界で10年以上の経験を持つ当社には、複雑な課題に取り組むための技術的知見があります。
One-Stop Solution: We manage the entire production process, from sourcing high-purity raw materials to fabricating and finishing complex components.
競争力のある価値：主要な石英生産拠点に位置することで、効率的なサプライチェーンと先進的な製造技術を活用し、競争力のある価格で卓越した品質を提供しています。
Dedicated Partnership: Over 90% of our clients become long-term partners. We are committed to your success through responsive service, reliable quality, and innovative solutions.
