水晶管
石英プレート
クォーツロッド
光学応用
半導体産業
ラボおよび化学用途
当社の高純度石英ウェハボートは、半導体や太陽電池の厳密なプロセスにおいて、精密なウェハハンドリングに不可欠です。溶融石英製で、高温での拡散、酸化、アニール処理中に汚染を最小限に抑え、優れた耐久性を保証します。お客様の特定の製造ニーズに合わせたカスタムソリューションも利用可能です
| 特性内容 | 特性値 |
|---|---|
| SiO2 | 99.99% |
| 密度 | 2.2×10³ kg/cm³ |
| 硬度 | モース硬度 5.5～6.5; ヌープ硬度 570 (荷重100g) |
| 引張強度 | 4.8 × 10⁷ Pa (48 N/mm² または 48 MPa); 7,000 psi |
| 圧縮強度 | >1.1×10⁹ Pa (160,000 psi) |
| 熱膨張係数 | 5.5×10⁻⁷ cm/cm·°C (20°C-320°C) |
| 熱伝導率 | 1.4 W/m-°C |
| 比熱 | 670 J/kg-°C |
| 軟化点 | 1730度C（3146度F） |
| 徐冷点 | 1210度C（2210度F） |
| 歪点 | 1120度C（2048度F） |
| 使用温度 | 1200°C |
| 電気抵抗率 | 7×10⁷Ωcm (350°C) |
| サイズ | カスタマイズ対応 |
| ロゴ | ロゴのカスタマイズ対応 |
高温耐性
石英ウェーハボートは、半導体製造で遭遇する高温環境、通常は摂氏1100度以上の温度に耐えることができます
高純度材料
石英ウェーハボートは高純度石英ガラス（または溶融石英ガラス）製であり、通常99.999%以上の純度を誇り、半導体製造工程における不純物の混入を防ぎます
化学的安定性
石英ウェーハボートは、多様な化学物質に対して不活性であり、様々な化学環境において安定性を維持し、半導体プロセスで使用される化学物質と反応しません
優れた光学特性
石英ウェーハボートは優れた光透過率を有し、紫外線から赤外線スペクトルにわたる光を透過させます。これは、光学的検査が必要とされる半導体製造プロセスにおいて極めて重要です
アプリケーションシナリオ
高温プロセス
石英ウェーハボートは、拡散や酸化など、高温処理が必要とされる半導体製造プロセスにおいて極めて重要な役割を果たします。これらは摂氏300度を超える温度でも安定性を維持し、溶融や変形を防ぎ、シリコンウェーハの安全性を確保します
アニールプロセス
半導体製造において、アニール処理は加熱を通じて材料の特性を回復または変化させるために用いられます。石英ウェーハボートは、その高温安定性により、このプロセスに理想的な選択肢です。
洗浄・化学処理
石英ウェーハボートは、チップが酸性溶液で処理される可能性のある洗浄・化学処理工程において、優れた化学的安定性を示し、チップを腐食から保護します。
高温域部品
半導体分野において、石英ウェーハボートは、拡散や酸化などのプロセスで使用される炉心管やボートフレームといった高温領域の構成要素として利用されます。これらは高温環境下でシリコンウェーハと直接的または間接的に接触します。
石英ウェーハボートの主要材料は、二酸化ケイ素（SiO₂）の含有率が極めて高い高純度石英ガラス（溶融石英）であり、通常99.999%以上の純度を誇ります。この高純度石英ガラスは、半導体製造工程における不純物の混入を防ぎつつ、優れた耐熱性と化学的安定性も兼ね備えています。
石英ウェーハボートは、主に半導体製造においてシリコンウェーハの搬送および輸送のためのツールとして機能します。これらは高温処理、洗浄、化学処理などの重要なプロセス工程で使用され、シリコンウェーハの安定性と安全性を確保します。石英ウェーハボートの耐熱性と化学的安定性は、半導体製造における製品品質を保証するために不可欠です。
石英ウェーハボートの寿命は、使用頻度、温度、化学環境を含む様々な要因によって影響されます。一般的に、適切な使用とメンテナンスが行われていれば、石英ウェーハボートは複数回再利用することが可能です。しかし、使用が増えるにつれて、摩耗、汚染、または微細な亀裂の形成により、徐々に性能が低下する可能性があります。このような問題が発生した場合は、プロセス安定性と製品の信頼性を確保するためにウェーハボートの交換が必要となります。具体的な寿命は、実際の使用およびメンテナンス条件に基づいて決定される必要があります。
よくある質問
当社は、高純度石英ガラス部品の一貫製造を専門としております。主な製品ラインナップは以下の通りです：
石英管・石英棒: 幅広い直径と仕様。
石英プレート・ディスク: 光学および工業用途向けに精密に切断・研磨。
石英実験器具: ビーカー、フラスコ、ボートなど、標準品から特注品まで幅広い種類のガラス器具。
半導体グレード石英: 半導体製造用のプロセスチューブやキャリアなどの高純度部品。
特注加工部品: お客様固有の設計および仕様に合わせて、複雑な部品を製造できます。
はい。特注加工（カスタム加工）は、当社の事業の中核です。10年以上にわたる専門的な経験を活かし、お客様企業と提携し、専門的なOEM/ODMサービスを提供しております。当社の加工技術には、溶接、研削、穴あけ、研磨、曲げ加工、その他さまざまな精密加工技術が含まれており、お客様の厳密なご要望にお応えする部品を製造いたします。
品質は当社の製造プロセスにおいて最も重要です。当社はISO 9001:2015認証取得メーカーであり、当社のプロセスが国際的な品質管理基準を満たしていることを保証します。また、当社の製品は純度と性能に関して厳格なSGS試験を受けています。当社は高純度原材料（SiO2 99.998%まで）を使用し、優れた熱安定性、高温耐性、化学的不活性を持つ溶融石英および溶融シリカ製品を製造しています。
当社はプロセスを最大限に効率化しました：
RFQ（見積依頼）を提出：ウェブサイトのお問い合わせフォームまたはEメールで、技術図面、仕様、要件をお送りください。
迅速な対応: 数分以内に初回返信を、30分以内に詳細なご連絡を差し上げます。
設計・提案：24時間以内に詳細な設計提案と競争力のある見積もりをお届けします。
試作・生産：承認後、お客様の納期に間に合わせるため、迅速に試作から本格的な量産へと移行いたします。
Aoxin Quartzとの提携には、いくつかの重要なメリットがあります：
実証された専門知識：業界で10年以上の経験を持つ当社には、複雑な課題に取り組むための技術的知見があります。
One-Stop Solution: We manage the entire production process, from sourcing high-purity raw materials to fabricating and finishing complex components.
競争力のある価値：主要な石英生産拠点に位置することで、効率的なサプライチェーンと先進的な製造技術を活用し、競争力のある価格で卓越した品質を提供しています。
Dedicated Partnership: Over 90% of our clients become long-term partners. We are committed to your success through responsive service, reliable quality, and innovative solutions.
