Tubo de cuarzo
Placa de cuarzo
Varilla de cuarzo
Aplicaciones ópticas
Industria de semiconductores
Aplicaciones de laboratorio y químicas
Nuestras barcas de recocido de obleas de cuarzo de alta pureza son indispensables para procesos térmicos críticos en la fabricación de semiconductores, incluyendo difusión, oxidación y recocido. Fabricadas con sílice fundida de primera calidad, estas barcas ranuradas ofrecen una estabilidad térmica excepcional a temperaturas extremas de horno, generación de partículas ultrabaja e inercia química superior para prevenir la contaminación de obleas de silicio delicadas. Diseñadas para un posicionamiento preciso de las obleas y un flujo de gas óptimo, ofrecemos una amplia gama de configuraciones estándar y personalizadas para integrarse perfectamente en sus sistemas de horno y requisitos de proceso específicos.
Observaciones:
- Método de pago: Mediante transferencia bancaria o pago por adelantado, dependiendo de la cantidad del pedido
- Plazo de entrega: Según la cantidad del pedido
- Método de transporte: Flete marítimo o flete aéreo, según el cliente.
| Contenido de la propiedad | Valores de la propiedad |
|---|---|
| SiO2 | 99.99% |
| Densidad | 2,2×10³ kg/cm³ |
| Dureza | Dureza Mohs de 5,5 a 6,5; Dureza Knoop 570 (con una carga de 100g) |
| Resistencia a la tracción | 4,8 × 10⁷ Pa (48 N/mm² o 48 MPa); 7.000 psi |
| Resistencia a la compresión | >1.1×10⁹ Pa (160,000 psi) |
| Coeficiente de dilatación térmica | 5.5×10⁻⁷ cm/cm·°C (20°C-320°C) |
| Conductividad térmica | 1,4 W/m-°C |
| Calor específico | 670 J/kg-°C |
| Punto de ablandamiento | 1730°C (3146°F) |
| Punto de recocido | 1210°C (2210°F) |
| Punto de deformación | 1120°C (2048°F) |
| Temperatura de trabajo | 1200°C (2192°F) |
| Resistividad eléctrica | 7×10⁷ ohm cm (350°C) |
| Tamaño | Personalizado |
| Logotipo | Se acepta el logotipo personalizado |
Estabilidad y resistencia a temperaturas extremadamente altas
Construidas con sílice fundida de alta pureza, estas barcas pueden soportar las temperaturas intensas y prolongadas comunes en los procesos de hornos de semiconductores (por ejemplo, recocido, difusión, oxidación) sin deformarse, desvitrificarse o desgasificarse, asegurando un tratamiento térmico consistente y fiable.
Contaminación ultrabaja y alta pureza
La alta pureza inherente del cuarzo (SiO2 ≥ 99,99%) combinada con técnicas de fabricación avanzadas asegura una mínima presencia de impurezas de elementos traza y una generación de partículas ultrabaja. Esto es fundamental para prevenir la contaminación de obleas de silicio delicadas, lo que impacta directamente en el rendimiento y la performance de los dispositivos en microelectrónica.
Excelente resistencia al choque térmico
El coeficiente de expansión térmica extremadamente bajo del cuarzo permite que estas barcas soporten ciclos rápidos de calentamiento y enfriamiento en entornos de horno sin agrietarse ni sufrir tensiones, lo que se traduce en una vida útil más prolongada y una reducción del tiempo de inactividad.
Diseño ranurado de precisión y personalización
Las ranuras diseñadas con precisión aseguran un posicionamiento seguro y preciso de las obleas, optimizando el flujo de gas y la uniformidad de la temperatura durante el procesamiento. Además, estas barcas son totalmente personalizables en términos de tamaño de oblea (por ejemplo, 6″, 8″, 12″), número de ranuras, paso y dimensiones generales para integrarse perfectamente con configuraciones de horno y requisitos de proceso específicos.
Escenario de aplicación
Procesos de difusión de obleas de semiconductores
Utilizadas extensivamente en hornos de difusión para sujetar con precisión obleas de silicio durante la introducción de dopantes (como boro o fósforo) a altas temperaturas, asegurando perfiles de dopaje uniformes en toda la oblea.
Procesos de oxidación de obleas
Esenciales para el crecimiento de capas delgadas de dióxido de silicio (SiO2) en obleas dentro de hornos de oxidación. La barca de cuarzo mantiene la integridad y el espaciado de las obleas, permitiendo un crecimiento uniforme del óxido, crucial para el aislamiento de los dispositivos.
Recocido de obleas a alta temperatura
Empleadas en hornos de recocido para reparar daños en la red cristalina, activar dopantes implantados o aliviar tensiones en las obleas después de diversas etapas de fabricación, todo realizado a temperaturas elevadas.
Deposición química de vapor a baja presión (LPCVD)
Críticas para el soporte de obleas durante la deposición de diversas películas delgadas (por ejemplo, polisilicio, nitruro de silicio, dióxido de silicio) en hornos LPCVD, donde la alta pureza y estabilidad térmica de la barca previenen la contaminación y aseguran un espesor de película uniforme.
Manipular con cuidado
Los productos de vidrio de cuarzo están hechos de materiales valiosos y deben manipularse con cuidado para evitar golpes y caídas.
Mantenimiento regular
El mantenimiento de los tubos de cuarzo debe realizarse regularmente para asegurar su rendimiento estable a largo plazo. Revise regularmente las conexiones, las fijaciones y las vibraciones mecánicas de los tubos de cuarzo para prevenir anomalías. El exterior de los tubos de cuarzo es propenso a la contaminación por polvo y humedad, por lo que deben limpiarse regularmente.
Entorno de almacenamiento
Al almacenar tubos de cuarzo, se debe tener cuidado para evitar la exposición a vibraciones mecánicas, golpes y temperaturas excesivamente altas, con el fin de prevenir la degradación del material. Deben mantenerse en un lugar seco, fresco y bien ventilado, evitando la luz solar directa y los entornos de alta temperatura.
Sí, nuestras barcas de recocido de obleas de cuarzo están meticulosamente diseñadas con dimensiones precisas y una construcción robusta para asegurar una integración perfecta con la mayoría de los sistemas estándar de carga y descarga automatizados de hornos, incluyendo mecanismos de voladizo y paleta. Esto permite una transferencia de obleas eficiente y fiable en entornos de fabricación de semiconductores de alto volumen.
La vida útil de una barca de cuarzo para obleas varía según parámetros de proceso específicos como la temperatura, la frecuencia del ciclo y la exposición química. Sin embargo, con un manejo adecuado y un mantenimiento rutinario, pueden durar muchos años. La limpieza regular (por ejemplo, usando ácido fluorhídrico diluido u otros grabadores apropiados) es esencial para eliminar las películas depositadas y prevenir la desvitrificación, lo que puede extender significativamente su vida útil y mantener la integridad del proceso.
Las ranuras mecanizadas con precisión y la estructura abierta general de la barca de cuarzo están específicamente diseñadas para permitir un flujo de gas óptimo y uniforme alrededor de cada oblea. Esto asegura una distribución de temperatura consistente en todas las obleas dentro de la barca y a lo largo del tubo del horno, lo cual es crítico para lograr una deposición de película uniforme, perfiles de dopaje y una repetibilidad general del proceso durante tratamientos térmicos de alta temperatura como la difusión y la oxidación.
Perforación láser de cuarzo
Tubo de cuarzo roscado
Rosca externa en tubo de cuarzo
Tubo de cuarzo con rosca interna
Tubo de cuarzo ranurado
Ventana en tubo de cuarzo
Tubo de cuarzo con corte angular
Baldosa de cuarzo
Tubo de cuarzo con ventana
Preguntas más frecuentes
Nos especializamos en la fabricación integral de componentes de vidrio de cuarzo de alta pureza. Nuestras principales líneas de productos incluyen:
Tubos y varillas de cuarzo: Una amplia gama de diámetros y especificaciones.
Placas y discos de cuarzo: Corte de precisión y pulido para uso óptico e industrial.
Cristalería de laboratorio de cuarzo: Una suite completa de cristalería estándar y personalizada, incluyendo vasos de precipitados, matraces y barcas.
Cuarzo de grado semiconductor: Componentes de alta pureza como tubos de proceso y portadores para la fabricación de semiconductores.
Componentes fabricados a medida: Podemos producir piezas complejas adaptadas a sus diseños y especificaciones únicas.
Sí. La fabricación personalizada es el pilar central de nuestro negocio. Con más de una década de experiencia especializada, nos asociamos con empresas para ofrecerles servicios expertos de OEM/ODM. Nuestras capacidades incluyen soldadura, rectificado, perforación, pulido, doblado y otras técnicas de mecanizado de precisión para crear componentes que cumplan con sus requisitos exactos.
La calidad es primordial en nuestro proceso de fabricación. Somos un fabricante certificado ISO 9001:2015, lo que garantiza que nuestros procesos cumplen con los estándares internacionales de gestión de calidad.Nuestros productos también se someten a rigurosas pruebas SGS de pureza y rendimiento. Utilizamos materias primas de alta pureza (hasta 99,998% de SiO2) para producir productos de cuarzo fundido y sílice fundida con una estabilidad térmica excepcional, alta resistencia a la temperatura e inercia química.
Hemos optimizado nuestro proceso para que sea lo más eficiente posible:
Envíe su Solicitud de Cotización (RFQ): Envíenos sus dibujos técnicos, especificaciones y requisitos a través de nuestro formulario de contacto en el sitio web o por correo electrónico.
Respuesta rápida: Puede esperar una respuesta inicial en cuestión de minutos y una comunicación detallada en media hora.
Diseño y Propuesta: Le entregaremos una propuesta de diseño detallada y un presupuesto competitivo en 24 horas.
Prototipado y Producción: Tras la aprobación, pasamos rápidamente del prototipado a la producción a gran escala para cumplir con sus plazos de entrega.
Asociarse con Aoxin Quartz ofrece varias ventajas clave:
Experiencia comprobada: Con más de 10 años en la industria, poseemos el conocimiento técnico para abordar desafíos complejos.
One-Stop Solution: We manage the entire production process, from sourcing high-purity raw materials to fabricating and finishing complex components.
Valor competitivo: Ubicados en un importante centro de producción de cuarzo, aprovechamos una cadena de suministro eficiente y una fabricación avanzada para ofrecer una calidad excepcional a un precio competitivo.
Dedicated Partnership: Over 90% of our clients become long-term partners. We are committed to your success through responsive service, reliable quality, and innovative solutions.
