Кварцевая трубка
Кварцевая пластина
Кварцевый стержень
Оптические приложения
Полупроводниковая промышленность
Лабораторные и химические приложения
Наши высокочистые кварцевые лодочки для отжига пластин незаменимы для критически важных термических процессов в полупроводниковом производстве, включая диффузию, окисление и отжиг. Изготовленные из высококачественного плавленого кварца, эти щелевые лодочки обеспечивают исключительную температурную стабильность при экстремальных температурах печи, сверхнизкое выделение частиц и превосходную химическую инертность для предотвращения загрязнения деликатных кремниевых пластин. Разработанные для точного позиционирования пластин и оптимального потока газа, мы предлагаем широкий спектр стандартных и нестандартных конфигураций для бесшовной интеграции в ваши конкретные печные системы и технологические требования.
Примечания:
- Способ оплаты: Банковский перевод или предоплата, в зависимости от объема заказа
- Срок поставки: В зависимости от объема заказа
- Способ транспортировки: Морские или воздушные перевозки, в зависимости от клиента
| Содержание свойств | Значения свойств |
|---|---|
| SiO2 | 99.99% |
| Плотность | 2,2×10³ кг/см³ |
| Твердость | Твердость по шкале Мооса 5,5 - 6,5; Твердость по Кнупу 570 (при нагрузке 100 г) |
| Предел прочности при растяжении | 4,8 × 10⁷ Па (48 Н/мм² или 48 МПа); 7 000 фунтов на квадратный дюйм (psi) |
| Предел прочности при сжатии | >1.1×10⁹ Pa (160,000 psi) |
| Коэффициент теплового расширения | 5.5×10⁻⁷ cm/cm·°C (20°C-320°C) |
| Теплопроводность | 1,4 Вт/м-°C |
| Удельная теплоемкость | 670 Дж/кг-°C |
| Температура размягчения | 1730 °C (3146 °F) |
| Точка отжига | 1210 °C (2210 °F) |
| Точка напряжения | 1120 °C (2048 °F) |
| Рабочая температура | 1200°C (2192°F) |
| Удельное электрическое сопротивление | 7×10⁷ Ом см (350°C) |
| Размер | Индивидуальный заказ |
| Логотип | Нанесение логотипа по заказу |
Исключительная термостойкость и стабильность при высоких температурах
Изготовленные из высокочистого плавленого кварца, эти лодочки способны выдерживать интенсивные, продолжительные температуры, характерные для процессов в полупроводниковых печах (например, отжиг, диффузия, окисление), без деформации, раскристаллизации или выделения газов, обеспечивая стабильную и надежную термическую обработку.
Сверхнизкое загрязнение и высокая чистота
Присущая кварцу высокая чистота (SiO2 ≥ 99,99%) в сочетании с передовыми технологиями производства обеспечивает минимальное содержание примесей микроэлементов и образование частиц. Это крайне важно для предотвращения загрязнения деликатных кремниевых пластин, что напрямую влияет на выход годных изделий и производительность устройств в микроэлектронике.
Превосходная стойкость к термическому шоку
Крайне низкий коэффициент термического расширения кварца позволяет этим лодочкам выдерживать быстрые циклы нагрева и охлаждения в печных условиях без растрескивания или напряжения, что приводит к увеличению срока службы и сокращению времени простоя.
Прецизионная щелевая конструкция и возможность индивидуальной настройки
Точно спроектированные пазы обеспечивают надежное и точное позиционирование пластин, оптимизируя поток газа и равномерность температуры во время обработки. Кроме того, эти лодочки полностью настраиваемы с точки зрения размера пластин (например, 6″, 8″, 12″), количества пазов, шага и общих размеров, что позволяет бесшовно интегрировать их в ваши специфические конфигурации печей и технологические требования.
Сценарий применения
Процессы диффузии полупроводниковых пластин
Широко используются в диффузионных печах для точного удержания кремниевых пластин во время введения легирующих примесей (таких как бор или фосфор) при высоких температурах, обеспечивая равномерный профиль легирования по всей пластине.
Процессы окисления пластин
Незаменимы для выращивания тонких слоев диоксида кремния (SiO2) на пластинах в печах окисления. Кварцевая лодочка поддерживает целостность и интервалы между пластинами, обеспечивая равномерный рост оксида, что критически важно для изоляции устройств.
Высокотемпературный отжиг пластин
Применяются в печах для отжига для восстановления повреждений кристаллической решетки, активации имплантированных легирующих примесей или снятия напряжений в пластинах после различных этапов производства, все это выполняется при повышенных температурах.
Осаждение из газовой фазы при низком давлении (LPCVD)
Критически важны для поддержки пластин во время осаждения различных тонких пленок (например, поликремния, нитрида кремния, диоксида кремния) в LPCVD-печах, где высокая чистота и температурная стабильность лодочки предотвращают загрязнение и обеспечивают равномерную толщину пленки.
Обращаться с осторожностью
Изделия из кварцевого стекла изготавливаются из ценных материалов и должны обращаться с ними осторожно, чтобы избежать ударов и падений
Регулярное обслуживание
Обслуживание кварцевых трубок должно проводиться регулярно для обеспечения их долгосрочной стабильной работы. Регулярно проверяйте соединения, крепления и механические вибрации кварцевых трубок для предотвращения отклонений. Внешняя поверхность кварцевых трубок подвержена загрязнению пылью и влагой, поэтому их следует регулярно чистить
Условия хранения
При хранении кварцевых трубок следует избегать воздействия механических вибраций, ударов и чрезмерно высоких температур, чтобы предотвратить деградацию материала. Их следует хранить в сухом, прохладном и хорошо проветриваемом месте, избегая прямых солнечных лучей и высокотемпературных условий.
Да, наши кварцевые лодочки для отжига пластин тщательно разработаны с точными размерами и прочной конструкцией, чтобы обеспечить бесшовную интеграцию с большинством стандартных автоматизированных систем загрузки и выгрузки печей, включая консольные и лопаточные механизмы. Это обеспечивает эффективную и надежную передачу пластин в условиях крупносерийного производства полупроводников.
Срок службы кварцевой лодочки для пластин варьируется в зависимости от конкретных технологических параметров, таких как температура, частота циклов и воздействие химикатов. Однако при правильном обращении и регулярном обслуживании они могут служить много лет. Регулярная очистка (например, с использованием разбавленной плавиковой кислоты или других подходящих травителей) необходима для удаления отложившихся пленок и предотвращения раскристаллизации, что может значительно продлить их срок службы и сохранить целостность процесса.
Точно обработанные пазы и общая открытая конструкция кварцевой лодочки специально разработаны для обеспечения оптимального и равномерного потока газа вокруг каждой пластины. Это гарантирует постоянное распределение температуры по всем пластинам внутри лодочки и по всей трубе печи, что критически важно для достижения равномерного осаждения пленок, профилей легирования и общей повторяемости процесса во время высокотемпературных термических обработок, таких как диффузия и окисление.
Лазерное сверление кварца
Резьбовая кварцевая трубка
Наружная резьба на кварцевой трубке
Кварцевая трубка с внутренней резьбой
Кварцевая трубка с прорезями
Окно на кварцевой трубке
Кварцевая трубка со скосом
Кварцевая плитка
Кварцевая трубка с окном
Часто задаваемые вопросы
Мы специализируемся на комплексном производстве высокочистых кварцевых стекольных компонентов. Наши основные продуктовые линейки включают:
Кварцевые трубки и стержни: Широкий диапазон диаметров и спецификаций.
Кварцевые пластины и диски: Прецизионная резка и полировка для оптического и промышленного применения.
Кварцевая лабораторная посуда: Полный ассортимент стандартной и индивидуальной стеклянной посуды, включая стаканы, колбы и лодочки.
Кварц полупроводникового класса: Высокочистые компоненты, такие как технологические трубки и носители, для производства полупроводников.
Компоненты индивидуального изготовления: Мы можем производить сложные детали, адаптированные под ваши уникальные чертежи и спецификации.
Да. Индивидуальное изготовление является основой нашей деятельности. Имея более чем десятилетний специализированный опыт, мы сотрудничаем с компаниями, предлагая высококлассные услуги OEM/ODM. Наши возможности включают сварку, шлифовку, сверление, полировку, гибку и другие методы прецизионной обработки для создания компонентов, точно соответствующих вашим требованиям.
Качество является первостепенным в нашем производственном процессе. Мы являемся производителем, сертифицированным по ISO 9001:2015, гарантируя, что наши процессы соответствуют международным стандартам управления качеством.Наша продукция также проходит строгие испытания SGS на чистоту и производительность. Мы используем высокочистое сырье (до 99,998% SiO2) для производства изделий из плавленого кварца и плавленого диоксида кремния с исключительной термической стабильностью, высокой термостойкостью и химической инертностью.
Мы максимально оптимизировали наш процесс для обеспечения эффективности:
Отправьте запрос коммерческого предложения (RFQ): Присылайте нам свои технические чертежи, спецификации и требования через контактную форму на нашем сайте или по электронной почте.
Быстрый ответ: Вы можете ожидать первоначальный ответ в течение нескольких минут и подробное общение в течение получаса.
Дизайн и Коммерческое предложение: Мы предоставим подробное проектное предложение и конкурентоспособное коммерческое предложение в течение 24 часов.
Прототипирование и производство: После утверждения мы оперативно переходим от прототипирования к полномасштабному производству, чтобы уложиться в ваши сроки.
Сотрудничество с Aoxin Quartz предоставляет несколько ключевых преимуществ:
Проверенный опыт: Имея более чем 10-летний опыт работы в отрасли, мы обладаем техническими знаниями для решения сложных задач.
One-Stop Solution: We manage the entire production process, from sourcing high-purity raw materials to fabricating and finishing complex components.
Конкурентная ценность: Расположенные в крупном центре по производству кварца, мы используем эффективную цепочку поставок и передовое производство, чтобы предложить исключительное качество по конкурентоспособной цене.
Dedicated Partnership: Over 90% of our clients become long-term partners. We are committed to your success through responsive service, reliable quality, and innovative solutions.
