Кварцевая трубка
Кварцевая пластина
Кварцевый стержень
Оптические приложения
Полупроводниковая промышленность
Лабораторные и химические приложения
Quartz wafer boats are manufactured from high-purity quartz glass and are characterized by their high-temperature resistance and excellent chemical stability. They are primarily used in semiconductor manufacturing for carrying and processing silicon wafers. Quartz wafer boats play a critical role in semiconductor processes, ensuring the safety and stability of wafers during manufacturing while also influencing the quality and performance of the final chip products.
| Содержание недвижимости | Стоимость недвижимости |
|---|---|
| SiO2 | 99.99% |
| Плотность | 2,2×10³ кг/см³ |
| Твердость | 5,5 - 6,5 Шкала Мооса 570 KHN 100 |
| Прочность на разрыв | 4,8×10⁷ Па (Н/мм2) (7000 фунтов на кв. дюйм) |
| Прочность на сжатие | >1,1×10⁹ Па (160 000 фунтов на кв. дюйм) |
| Коэффициент теплового расширения | 5,5×10-⁷ см/см°C (20°C-320°C) |
| Теплопроводность | 1,4 Вт/м-°C |
| Удельная теплота | 670 Дж/кг-°C |
| Точка размягчения | 1730 °C (3146 °F) |
| Точка отжига | 1210 °C (2210 °F) |
| Точка деформации | 1120 °C (2048 °F) |
| Рабочая температура | 1200°C (2192°F) |
| Электрическое сопротивление | 7×10⁷ Ом см (350°C) |
| Размер | На заказ |
| Логотип | Подгонянный логос принимает |
Стойкость к высоким температурам
Quartz wafer boats can withstand the high-temperature environments encountered in semiconductor manufacturing, typically tolerating temperatures up to 1100 degrees Celsius and above.
High-Purity Material
Quartz wafer boats are made from high-purity quartz glass, generally exceeding 99.999% purity, ensuring that no impurities are introduced during semiconductor manufacturing.
Chemical Stability
Quartz wafer boats are inert to a variety of chemicals, maintaining stability in diverse chemical environments, and do not react with chemicals used in semiconductor processes.
Excellent Optical Properties
Quartz wafer boats possess excellent optical transmission, allowing light to pass through across the ultraviolet to infrared spectrum. This is crucial for semiconductor manufacturing processes that require optical inspection.
Сценарий применения
High-Temperature Processing
Quartz wafer boats play a critical role in semiconductor manufacturing processes that require high-temperature treatment, such as diffusion and oxidation. They maintain stability at temperatures exceeding 300°C, preventing melting or deformation, thus ensuring the safety of the silicon wafers.
Annealing Processes
In semiconductor manufacturing, annealing is used to restore or alter material properties through heating. Quartz wafer boats are an ideal choice for this process due to their stability at high temperatures.
Cleaning and Chemical Processing
Quartz wafer boats exhibit excellent chemical stability during cleaning and chemical processing where chips might be treated with acidic solutions, protecting the chips from corrosion.
High-Temperature Zone Components
In the semiconductor field, quartz wafer boats are used as components in high-temperature zones, primarily for furnace tubes and boat frames used in processes like diffusion and oxidation. They come into direct or indirect contact with silicon wafers in high-temperature environments.
The primary material of quartz wafer boats is high-purity quartz glass, which contains an extremely high proportion of silicon dioxide (SiO₂), typically with a purity exceeding 99.999%. This high-purity quartz glass ensures that no impurities are introduced during semiconductor manufacturing, while also exhibiting excellent high-temperature resistance and chemical stability.
Quartz wafer boats primarily serve as tools for carrying and transporting silicon wafers in semiconductor manufacturing. They are used in critical process steps, such as high-temperature processing, cleaning, and chemical processing, ensuring the stability and safety of the silicon wafers. The high-temperature resistance and chemical stability of quartz wafer boats are crucial for ensuring product quality in semiconductor manufacturing.
The lifespan of quartz wafer boats is influenced by various factors, including frequency of use, temperature, and chemical environment. Generally, with proper usage and maintenance, quartz wafer boats can be reused multiple times. However, with increased use, they may gradually lose performance due to wear, contamination, or the formation of micro-cracks. It becomes necessary to replace the wafer boat to ensure process stability and product reliability. The specific lifespan needs to be determined based on actual use and maintenance conditions.
Часто задаваемые вопросы
Кварцевое стекло - это твердый и хрупкий материал с отличными физическими и химическими свойствами, чрезвычайно высокой механической твердостью, хорошей электроизоляцией, высокой температурой и коррозионной стойкостью, низкой и стабильной задержкой, хорошим светопропусканием и т.д. Он широко используется в полупроводниках, оптике, электричестве, химии, аэрокосмической промышленности, автомобилестроении и других областях. Твердые и хрупкие материалы трудно поддаются обработке, поэтому во многих областях срочно требуются процессы резки с небольшим разрушением кромок, меньшими потерями материала, низкой шероховатостью поперечного сечения и широким диапазоном толщины реза. Традиционным методом резки кварцевого стекла является механическая резка, то есть резка кругом. К нетрадиционным методам резки относятся водоструйная резка, резка проволокой электрохимического разряда, непрерывная лазерная резка и т. д. Механическая резка имеет низкую стоимость, но контакт между кругом и материалом приводит к большому износу инструмента, а материал легко загрязняется инструментом. Кварцевое стекло подвержено разрушению кромок, микротрещинам и остаточному напряжению, что влияет на прочность и эксплуатационные характеристики материала! Трудно добиться криволинейной резки и требуется последующая обработка, такая как шлифовка и полировка. Лазерная резка не контактирует непосредственно с материалом, не имеет контактного напряжения и может выполнять сложную криволинейную резку. Пикосекундный лазер обладает такими преимуществами, как малый диаметр пятна, высокая точность, короткое время воздействия на материал и малая площадь воздействия, и подходит для обработки твердых и хрупких материалов.
。
