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A quartz boat carrier is a boat-shaped tray or support structure primarily made from quartz. Due to the excellent high-temperature resistance, corrosion resistance, and high light transmission properties of quartz, quartz boat carriers are widely used in the photovoltaic and semiconductor industries. They are primarily used for carrying silicon wafers, battery cells, or other materials requiring processing, providing support and transport during processes such as diffusion, etching, and cleaning.
| 속성 콘텐츠 | 속성 값 |
|---|---|
| SiO2 | 99.99% |
| 밀도 | 2.2×10³ kg/cm³ |
| 경도 | 5.5 - 6.5 모스 스케일 570 KHN 100 |
| 인장 강도 | 4.8×10⁷ Pa(N/mm2)(7000psi) |
| 압축 강도 | >1.1×10⁹ Pa(160,000psi) 이상 |
| 열팽창 계수 | 5.5×10-⁷ cm/cm-°C(20°C-320°C) |
| 열 전도성 | 1.4W/m-°C |
| 비열 | 670 J/kg-°C |
| 연화 포인트 | 1730°C(3146°F) |
| 어닐링 포인트 | 1210°C(2210°F) |
| 스트레인 포인트 | 1120°C(2048°F) |
| 작업 온도 | 1200°C(2192°F) |
| 전기 저항 | 7×10⁷ 옴 cm(350°C) |
| 크기 | 사용자 지정 |
| 로고 | 맞춤형 로고 수락 |
고온 내성
Quartz has a melting point of 1713°C, enabling quartz boat carriers to maintain stability in high-temperature environments and meeting the demands of high-temperature processes in the photovoltaic and semiconductor industries.
내식성
Quartz possesses excellent resistance to most acids, bases, and organic solvents, ensuring that quartz boat carriers are not easily damaged during chemical processes.
High Light Transmission
While quartz’s high light transmission is often utilized in optical applications, in quartz boat carriers, this property mainly manifests in its controlled absorption and reflection of light, contributing to the stability of processing environments.
애플리케이션 시나리오
Photovoltaic Industry
In the production of photovoltaic cells, quartz boat carriers are used to support solar cells during various processing steps such as diffusion, etching, and cleaning.
반도체 산업
In the production of semiconductor chips, quartz boat carriers are used to support silicon wafers during similar processing steps. Additionally, they are employed in heat treatment and deposition processes for semiconductor materials.
A quartz boat carrier is a device used to carry and support quartz boats, often in semiconductor manufacturing equipment, particularly as a key support component in diffusion furnaces in the photovoltaic industry.
Quartz boat carriers are primarily used in semiconductor manufacturing, the photovoltaic industry, and other sectors that require processing silicon wafers or other thin materials. In semiconductor manufacturing, they are used in wafer processing, heat treatment, and chemical reaction steps.
Quartz boat carriers have a relatively short service life, typically 3-6 months, whereas silicon carbide boat carriers have a longer service life, potentially reaching 5 years or more. Silicon carbide boat carriers are gradually replacing quartz boat carriers in certain conditions due to their superior high-temperature strength and long-lasting durability.
자주 묻는 질문
석영 유리는 우수한 물리적 및 화학적 특성, 매우 높은 기계적 경도, 우수한 전기 절연성, 고온 및 내식성, 낮고 안정적인 지연 성능, 우수한 빛 투과율 등을 갖춘 단단하고 부서지기 쉬운 소재입니다. 반도체, 광학, 전기, 화학, 항공우주, 자동차 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다. 단단하고 부서지기 쉬운 재료는 가공이 어렵고 많은 분야에서 가장자리 붕괴가 적고 재료 손실이 적으며 단면 거칠기가 낮고 절단 두께 범위가 넓은 절단 공정이 절실히 필요합니다. 석영 유리의 전통적인 절단 방법은 기계식 절단, 즉 휠 절단입니다. 비 전통적인 절단 방법에는 워터젯 절단, 전기 화학 방전 와이어 절단, 연속 레이저 절단 등이 포함됩니다. 기계식 절단은 비용이 저렴하지만 휠과 재료 사이의 접촉으로 인해 공구 마모가 크고 재료가 공구에 의해 쉽게 오염됩니다. 석영 유리는 가장자리 붕괴, 미세 균열 및 잔류 응력이 발생하기 쉬우므로 재료의 강도와 성능에 영향을 미칩니다! 곡선 절단이 어렵고 연마 및 연마와 같은 후처리가 필요합니다. 레이저 절단은 재료에 직접 접촉하지 않고 접촉 응력이 없으며 복잡한 곡선 절단을 수행할 수 있습니다. 피코초 레이저는 작은 스폿 직경, 고정밀, 재료와의 짧은 작용 시간, 작은 작용 면적의 장점을 가지고 있으며 단단하고 부서지기 쉬운 재료의 가공에 적합합니다.
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