Quartz boats, a commonly used piece of equipment in laboratory and industrial production, offer a range of excellent properties and diverse applications.
속성 콘텐츠 | 속성 값 |
---|---|
SiO2 | 99.99% |
밀도 | 2.2×10³ kg/cm³ |
경도 | 5.5 - 6.5 모스 스케일 570 KHN 100 |
인장 강도 | 4.8×10⁷ Pa(N/mm2)(7000psi) |
압축 강도 | >1.1×10⁹ Pa(160,000psi) 이상 |
열팽창 계수 | 5.5×10-⁷ cm/cm-°C(20°C-320°C) |
열 전도성 | 1.4W/m-°C |
비열 | 670 J/kg-°C |
연화 포인트 | 1730°C(3146°F) |
어닐링 포인트 | 1210°C(2210°F) |
스트레인 포인트 | 1120°C(2048°F) |
작업 온도 | 1200°C(2192°F) |
전기 저항 | 7×10⁷ 옴 cm(350°C) |
크기 | 사용자 지정 |
로고 | 맞춤형 로고 수락 |
Main Composition
Quartz boats are primarily made of high-purity quartz glass, with silicon dioxide (SiO2) as its main component. This material exhibits unique physical and chemical properties.
고온 내성
Quartz glass has exceptional high-temperature resistance, maintaining stability and resisting deformation or melting even in high-temperature environments. This makes quartz boats ideal for high-temperature processing.
화학적 안정성
Quartz glass possesses excellent chemical resistance to various substances, including acids and bases. This characteristic enables quartz boats to carry corrosive liquids and gases in chemical experiments.
빛 투과
QQuartz glass provides good light transmission, allowing light to penetrate. This is highly useful in applications where it is necessary to observe internal reactions or conduct optical experiments.
애플리케이션 시나리오
A quartz boat is a high-temperature processing container used in semiconductor manufacturing. It is typically made of high-purity quartz glass and serves to hold silicon wafers during high-temperature processing.
When using a quartz boat, precautions regarding high-temperature safety, chemical corrosion protection, and adherence to operating procedures must be followed to ensure the safety of personnel and the normal functioning of the equipment.
Quartz boats can be customized to fit various silicon wafer sizes, ensuring the stability and safety of the wafers during high-temperature processing.
자주 묻는 질문
석영 유리는 우수한 물리적 및 화학적 특성, 매우 높은 기계적 경도, 우수한 전기 절연성, 고온 및 내식성, 낮고 안정적인 지연 성능, 우수한 빛 투과율 등을 갖춘 단단하고 부서지기 쉬운 소재입니다. 반도체, 광학, 전기, 화학, 항공우주, 자동차 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다. 단단하고 부서지기 쉬운 재료는 가공이 어렵고 많은 분야에서 가장자리 붕괴가 적고 재료 손실이 적으며 단면 거칠기가 낮고 절단 두께 범위가 넓은 절단 공정이 절실히 필요합니다. 석영 유리의 전통적인 절단 방법은 기계식 절단, 즉 휠 절단입니다. 비 전통적인 절단 방법에는 워터젯 절단, 전기 화학 방전 와이어 절단, 연속 레이저 절단 등이 포함됩니다. 기계식 절단은 비용이 저렴하지만 휠과 재료 사이의 접촉으로 인해 공구 마모가 크고 재료가 공구에 의해 쉽게 오염됩니다. 석영 유리는 가장자리 붕괴, 미세 균열 및 잔류 응력이 발생하기 쉬우므로 재료의 강도와 성능에 영향을 미칩니다! 곡선 절단이 어렵고 연마 및 연마와 같은 후처리가 필요합니다. 레이저 절단은 재료에 직접 접촉하지 않고 접촉 응력이 없으며 복잡한 곡선 절단을 수행할 수 있습니다. 피코초 레이저는 작은 스폿 직경, 고정밀, 재료와의 짧은 작용 시간, 작은 작용 면적의 장점을 가지고 있으며 단단하고 부서지기 쉬운 재료의 가공에 적합합니다.
。