쿼츠 튜브
석영 플레이트
쿼츠 봉
광학 응용
반도체 산업
실험실 및 화학 응용
당사의 고순도 석영 웨이퍼 어닐링 보트는 확산, 산화 및 어닐링을 포함한 반도체 제조의 중요 열 공정에 필수적입니다. 프리미엄 용융 실리카로 제작된 이 슬롯형 보트는 극한의 전기로 온도에서 탁월한 온도 안정성, 초저 입자 발생, 그리고 섬세한 실리콘 웨이퍼의 오염을 방지하는 탁월한 화학적 불활성을 제공합니다. 정밀한 웨이퍼 위치 지정과 최적의 가스 흐름을 위해 설계된 당사는 귀하의 특정 전기로 시스템 및 공정 요구 사항에 원활하게 통합될 수 있도록 광범위한 표준 및 맞춤형 구성을 제공합니다.
비고:
- 결제 방법: 주문 수량에 따라 전신 송금 또는 선불 결제
- 납기: 주문 수량에 따라
- 운송 방법: 고객에 따라 해상 운송 또는 항공 운송
| 속성 내용 | 속성 값 |
|---|---|
| SiO2 | 99.99% |
| 밀도 | 2.2×10³ kg/cm³ |
| 경도 | 모스 경도 5.5 - 6.5; 누프 경도 570 (100g 하중) |
| 인장 강도 | 4.8 × 10⁷ Pa (48 N/mm² 또는 48 MPa); 7,000 psi |
| 압축 강도 | >1.1×10⁹ Pa (160,000 psi) |
| 열팽창 계수 | 5.5×10⁻⁷ cm/cm·°C (20°C-320°C) |
| 열전도도 | 1.4W/m-°C |
| 비열 | 670 J/kg-°C |
| 연화점 | 1730°C(3146°F) |
| 어닐링점 | 1210°C(2210°F) |
| 변형점 | 1120°C(2048°F) |
| 작업 온도 | 1200°C(2192°F) |
| 전기 저항률 | 7×10⁷ 옴 cm(350°C) |
| 크기 | 맞춤 제작 가능 |
| 로고 | 맞춤형 로고 적용 가능 |
극고온 안정성 및 내성
고순도 용융 실리카로 제작된 이 보트는 반도체 전기로 공정(예: 어닐링, 확산, 산화)에서 흔히 발생하는 강렬하고 장시간 지속되는 고온에서도 변형, 탈유리화 또는 아웃가싱 없이 견딜 수 있어 일관되고 신뢰할 수 있는 열처리를 보장합니다.
초저 오염 및 고순도
석영(SiO2 ≥ 99.99%)의 고유한 고순도와 첨단 제조 기술의 결합은 미량 원소 불순물 및 입자 생성을 최소화합니다. 이는 미세 전자 장치의 수율 및 성능에 직접적인 영향을 미치는 섬세한 실리콘 웨이퍼의 오염을 방지하는 데 매우 중요합니다.
뛰어난 열 충격 저항성
석영의 극히 낮은 열팽창 계수는 이 보트가 전기로 환경에서 급격한 가열 및 냉각 사이클을 균열이나 응력 없이 견딜 수 있도록 하여, 더 긴 수명과 가동 중단 시간 단축으로 이어집니다.
정밀 슬롯 설계 및 맞춤 제작성
정밀하게 설계된 슬롯은 웨이퍼를 안전하고 정확하게 위치시켜, 공정 중 가스 흐름과 온도 균일성을 최적화합니다. 또한, 이 보트는 웨이퍼 크기(예: 6인치, 8인치, 12인치), 슬롯 개수, 피치 및 전체 치수 면에서 완벽하게 맞춤 제작이 가능하여, 특정 전기로 구성 및 공정 요구 사항에 원활하게 통합될 수 있습니다.
응용 시나리오
반도체 웨이퍼 확산 공정
확산 전기로에서 도펀트(예: 붕소 또는 인)를 고온에서 주입하는 동안 실리콘 웨이퍼를 정밀하게 고정하는 데 광범위하게 사용되어, 웨이퍼 전체에 걸쳐 균일한 도핑 프로파일을 보장합니다.
웨이퍼 산화 공정
산화 전기로에서 웨이퍼 위에 이산화규소(SiO2)의 얇은 층을 성장시키는 데 필수적입니다. 석영 보트는 웨이퍼의 무결성과 간격을 유지하여 장치 절연에 필수적인 균일한 산화막 성장을 가능하게 합니다.
고온 웨이퍼 어닐링
어닐링 전기로에서 결정 격자 손상 복구, 이온 주입된 도펀트 활성화 또는 다양한 제조 단계 후 웨이퍼의 응력 완화를 위해 사용되며, 이 모든 공정은 고온에서 수행됩니다.
저압 화학 기상 증착 (LPCVD)
LPCVD 전기로에서 다양한 박막(예: 폴리실리콘, 질화규소, 이산화규소) 증착 동안 웨이퍼를 지지하는 데 매우 중요하며, 이때 보트의 고순도와 온도 안정성이 오염을 방지하고 균일한 막 두께를 보장합니다.
취급 주의
쿼츠 유리 제품은 귀중한 재료로 만들어졌으므로 충돌이나 낙하를 피하기 위해 조심스럽게 다루어야 합니다
정기 유지보수
석영 튜브의 유지보수는 장기적인 안정적인 성능을 보장하기 위해 정기적으로 수행되어야 합니다. 이상 발생을 방지하기 위해 석영 튜브의 연결부, 고정 장치 및 기계적 진동을 정기적으로 점검해야 합니다. 석영 튜브의 외부는 먼지와 습기로 인한 오염에 취약하므로 정기적으로 청소해야 합니다
보관 환경
쿼츠 튜브 보관 시, 재료 열화를 방지하기 위해 기계적 진동, 충격, 그리고 과도하게 높은 온도에 노출되지 않도록 주의해야 합니다. 건조하고 서늘하며 통풍이 잘 되는 곳에 보관하고, 직사광선과 고온 환경을 피해야 합니다
예, 당사의 석영 웨이퍼 어닐링 보트는 캔틸레버 및 패들 메커니즘을 포함한 대부분의 표준 자동화된 전기로 로딩 및 언로딩 시스템과 원활하게 통합되도록 정밀한 치수와 견고한 구조로 세심하게 설계되었습니다. 이를 통해 대량 반도체 제조 환경에서 효율적이고 신뢰할 수 있는 웨이퍼 이송이 가능합니다.
석영 웨이퍼 보트의 수명은 온도, 사이클 빈도, 화학 물질 노출과 같은 특정 공정 매개변수에 따라 달라집니다. 그러나 적절한 취급과 정기적인 유지 관리를 통해 수년 동안 사용할 수 있습니다. 증착된 막을 제거하고 탈유리화를 방지하기 위해 정기적인 세척(예: 묽은 불산 또는 기타 적절한 에칭액 사용)이 필수적이며, 이는 작동 수명을 크게 연장하고 공정 무결성을 유지할 수 있습니다.
정밀하게 가공된 슬롯과 석영 보트의 개방형 프레임워크는 각 웨이퍼 주변에 최적의 균일한 가스 흐름을 허용하도록 특별히 설계되었습니다. 이는 보트 내의 모든 웨이퍼와 전기로 튜브 전체에 걸쳐 일관된 온도 분포를 보장하며, 이는 확산 및 산화와 같은 고온 열처리 동안 균일한 막 증착, 도핑 프로파일 및 전반적인 공정 반복성을 달성하는 데 매우 중요합니다.
쿼츠 레이저 드릴링
나사산 쿼츠 튜브
석영 튜브 외부 나사산
내부 나사산 석영 튜브
슬롯 가공 석영 튜브
석영 튜브의 창
사선 절단 석영 튜브
석영 타일
창문형 석영 튜브
자주 묻는 질문
당사는 고순도 석영 유리 부품의 원스톱 제조를 전문으로 합니다. 주요 제품군은 다음과 같습니다:
석영 튜브 및 로드: 다양한 직경 및 사양.
석영 플레이트 및 디스크: 광학 및 산업용 정밀 절단 및 연마.
석영 실험용 기구: 비커, 플라스크, 보트 등을 포함한 다양한 표준 및 맞춤형 초자 기구 일체.
반도체 등급 석영: 반도체 제조를 위한 공정 튜브 및 캐리어와 같은 고순도 부품.
맞춤 제작 부품: 고객의 고유한 설계 및 사양에 맞춰 복잡한 부품을 생산할 수 있습니다.
네. 맞춤 제작은 당사 비즈니스의 핵심입니다. 10년 이상의 전문화된 경험을 바탕으로, 당사는 기업들과 협력하여 전문적인 OEM/ODM 서비스를 제공합니다. 당사의 역량에는 용접, 연삭, 드릴링, 연마, 벤딩을 비롯한 다양한 정밀 가공 기술이 포함되며, 고객의 정확한 요구사항을 충족하는 부품을 제작합니다.
품질은 당사의 제조 공정에서 가장 중요합니다. 당사는 ISO 9001:2015 인증을 받은 제조업체로서, 당사의 공정이 국제 품질 관리 표준을 충족하도록 보장합니다.당사의 제품은 또한 순도 및 성능에 대해 엄격한 SGS 테스트를 거칩니다. 당사는 고순도 원료(최대 99.998% SiO2)를 사용하여 탁월한 열 안정성, 고온 저항성 및 화학적 불활성을 지닌 용융 석영 및 퓨즈드 실리카 제품을 생산합니다.
당사는 프로세스를 최대한 효율적으로 간소화했습니다:
RFQ 제출: 당사 웹사이트 문의 양식 또는 이메일을 통해 기술 도면, 사양 및 요구사항을 보내주십시오.
신속한 응답: 수분 내에 초기 응답을, 30분 이내에 상세한 소통을 기대하실 수 있습니다.
설계 및 제안: 24시간 이내에 상세한 설계 제안과 경쟁력 있는 견적을 제공해 드립니다.
프로토타입 제작 및 생산: 승인 후, 당사는 고객의 기한을 맞추기 위해 프로토타입 제작에서 본격적인 생산으로 신속하게 전환합니다.
Aoxin Quartz와의 파트너십은 여러 가지 주요 이점을 제공합니다:
입증된 전문성: 10년 이상의 업계 경력을 바탕으로, 당사는 복잡한 과제를 해결할 기술적 지식을 갖추고 있습니다.
One-Stop Solution: We manage the entire production process, from sourcing high-purity raw materials to fabricating and finishing complex components.
경쟁력 있는 가치: 주요 석영 생산 허브에 위치하여 효율적인 공급망과 첨단 제조 기술을 활용함으로써, 경쟁력 있는 가격으로 탁월한 품질을 제공합니다.
Dedicated Partnership: Over 90% of our clients become long-term partners. We are committed to your success through responsive service, reliable quality, and innovative solutions.
