Unsere hochreinen Quarz-Wafer-Reinigungsracks und -träger sind unerlässlich für die fortschrittliche Halbleiterfertigung. Gefertigt aus Premium-Quarzglas (Fused Silica), bieten diese robusten Komponenten eine außergewöhnliche Beständigkeit gegenüber korrosiven Chemikalien, die in Nassätz- und Reinigungsprozessen eingesetzt werden, sowie überlegene Temperaturstabilität und extrem geringe Partikelabgabe. Entwickelt, um Siliziumwafer während kritischer Prozessschritte sicher zu halten, sind unsere Quarz-Wafer-Träger für verschiedene Wafergrößen erhältlich und können vollständig an Ihre spezifischen Prozessanforderungen angepasst werden, um optimale Ausbeute und Leistung zu gewährleisten.

Anmerkungen:
- Zahlungsmethode: Per Banküberweisung oder Vorkasse, abhängig von der Bestellmenge.
- Lieferzeit: Abhängig von der Bestellmenge
- Transportmethode: Seefracht oder Luftfracht, abhängig vom Kunden
| Eigenschaftsinhalt | Eigenschaftswerte |
|---|---|
| SiO2 | 99.99% |
| Dichte | 2,2×10³ kg/cm³ |
| Härte | Mohs-Härte 5,5 - 6,5; Knoop-Härte 570 (bei 100 g Prüflast) |
| Zugfestigkeit | 4,8 × 10⁷ Pa (48 N/mm² bzw. 48 MPa); 7.000 psi |
| Druckfestigkeit | >1.1×10⁹ Pa (160,000 psi) |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 5.5×10⁻⁷ cm/cm·°C (20°C-320°C) |
| Wärmeleitfähigkeit | 1,4 W/m-°C |
| Spezifische Wärme | 670 J/kg-°C |
| Erweichungspunkt | 1730°C (3146°F) |
| Transformationspunkt | 1210°C (2210°F) |
| Spannungspunkt | 1120°C (2048°F) |
| Arbeitstemperatur | 1200°C (2192°F) |
| Elektrischer Widerstand | 7×10⁷ Ohm cm (350°C) |
| Größe | Kundenspezifisch |
| Logo | Personalisierung mit Logo |
Höchste Reinheit & Kontaminationskontrolle
Gefertigt aus hochreinem Quarzglas (Fused Silica), eliminieren diese Racks und Träger das Risiko metallischer oder partikulärer Kontamination empfindlicher Siliziumwafer praktisch vollständig, was entscheidend für die Aufrechterhaltung hoher Ausbeuten in fortschrittlichen Halbleiterfertigungsprozessen ist.
Außergewöhnliche Chemikalienbeständigkeit
Entwickelt, um aggressiven Chemikalien in Nassätz-, Reinigungs- und Spülprozessen (Säuren, Basen und Lösungsmitteln) standzuhalten, gewährleisten sie eine lange Lebensdauer und konstante Leistung selbst in stark korrosiven Umgebungen, ohne sich zu zersetzen oder Verunreinigungen einzubringen.
Exzellente thermische Stabilität & mechanische Integrität
Quarz zeichnet sich durch einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und eine hohe Temperaturbeständigkeit aus, wodurch diese Träger ihre strukturelle Integrität und präzisen Abmessungen auch bei schnellen Temperaturwechseln oder längerer Exposition gegenüber erhöhten Temperaturen, wie sie in der Waferbearbeitung üblich sind, beibehalten können.
Präzisionsfertigung & Anpassbarkeit
Gefertigt mit engen Toleranzen und glatten Oberflächen, um Waferbeschädigungen zu verhindern und eine korrekte Positionierung zu gewährleisten. Darüber hinaus sind sie in Bezug auf Wafergrößenkompatibilität (z.B. 6″, 8″, 12″), Schlitzkonfigurationen und Gesamtabmessungen vollständig anpassbar, um sich nahtlos in spezifische Fab-Ausrüstung und Prozessanforderungen zu integrieren.
Anwendungsszenario
Semiconductor Wafer Wet Cleaning & Etching
Sie werden hauptsächlich in Nassprozessen eingesetzt, um Siliziumwafer durch verschiedene Reinigungsbäder (z.B. RCA-Reinigung), chemische Ätzbäder und Spülschritte zu halten und zu transportieren. Das hochreine Quarzglas verhindert Kontaminationen und widersteht aggressiven Chemikalien.
Wafer Rinsing, Drying & Storage
Sie erleichtern das gründliche Spülen von Wafern nach chemischen Behandlungen und können in Trocknungsprozessen (z.B. IPA-Dampftrocknung) eingesetzt werden. Darüber hinaus dienen sie als saubere, schützende Lagerung für Wafer zwischen verschiedenen Fertigungsschritten innerhalb einer Reinraumumgebung.
Vorsicht beim Umgang
Quarzglasprodukte werden aus wertvollen Materialien hergestellt und müssen vorsichtig behandelt werden, um Kollisionen und Stürze zu vermeiden.
Regelmäßige Wartung
Die Wartung von Quarzrohren muss regelmäßig durchgeführt werden, um deren langfristig stabile Leistung zu gewährleisten. Überprüfen Sie regelmäßig die Anschlüsse, Befestigungen und mechanischen Vibrationen der Quarzrohre, um Anomalien vorzubeugen. Die Außenseite der Quarzrohre ist anfällig für Verunreinigungen durch Staub und Feuchtigkeit, daher sollten sie regelmäßig gereinigt werden
Lagerumgebung
Bei der Lagerung von Quarzrohren ist darauf zu achten, dass sie keinen mechanischen Vibrationen, Stößen und übermäßig hohen Temperaturen ausgesetzt werden, um Materialdegradation zu verhindern. Sie sollten an einem trockenen, kühlen und gut belüfteten Ort gelagert werden, wobei direkte Sonneneinstrahlung und Hochtemperaturumgebungen zu vermeiden sind.
Unsere Quarz-Wafer-Reinigungsracks und -träger sind für eine breite Palette von Standard-Siliziumwafergrößen ausgelegt, einschließlich 4-Zoll-, 6-Zoll-, 8-Zoll- und 12-Zoll-Wafern. Wir bieten auch umfassende Anpassungsdienste an, um Träger für nicht standardisierte oder spezielle Waferabmessungen und -dicken herzustellen, die präzise Ihren einzigartigen Produktionsanforderungen entsprechen.
Quarz ist ein von Natur aus glattes und hartes Material, das äußerst abrieb- und chemikalienbeständig ist, wodurch die Partikelabgabe im Vergleich zu anderen Materialien erheblich reduziert wird. Unser Herstellungsprozess gewährleistet ultrareine Oberflächen und Designs mit minimalen Einschlusspunkten, was eine weitere Partikelkontamination während der entscheidenden Nassverarbeitungs- und Transportschritte in der Halbleiterfertigung verhindert.
Absolut. Hochreines Quarzglas (Fused Silica) bietet eine außergewöhnliche chemische Inertheit und Beständigkeit gegenüber nahezu allen Säuren (einschließlich HF in niedrigeren Konzentrationen, Salpetersäure, Schwefelsäure) und starken Basen, die üblicherweise in der Halbleiter-Nassprozessierung eingesetzt werden. Diese robuste chemische Beständigkeit gewährleistet die langfristige Integrität des Trägers und verhindert chemische Auslaugung, die empfindliche Wafer kontaminieren könnte.
Häufig gestellte Fragen
Wir sind auf die durchgängige Fertigung von hochreinen Quarzglaskomponenten spezialisiert. Unsere Kernproduktlinien umfassen:
Quarzrohre & -stäbe: Eine große Auswahl an Durchmessern und Spezifikationen.
Quarzplatten & -scheiben: Präzisionsgeschnitten und poliert für optische und industrielle Anwendungen.
Quarzlaborglas: Ein komplettes Sortiment an Standard- und kundenspezifischen Glasgeräten, einschließlich Bechergläsern, Kolben und Booten.
Halbleiterquarz: Hochreine Komponenten wie Prozessrohre und Träger für die Halbleiterfertigung.
Kundenspezifische Fertigungskomponenten: Wir können komplexe Teile nach Ihren einzigartigen Designs und Spezifikationen fertigen.
Ja. Kundenspezifische Fertigung ist das Herzstück unseres Geschäfts. Mit über einem Jahrzehnt spezialisierter Erfahrung arbeiten wir eng mit Unternehmen zusammen, um erstklassige OEM/ODM-Dienstleistungen anzubieten. Unsere Kompetenzen umfassen Schweißen, Schleifen, Bohren, Polieren, Biegen und weitere Präzisionsbearbeitungstechniken, um Komponenten zu fertigen, die exakt Ihren Anforderungen entsprechen.
Qualität ist in unserem Herstellungsprozess von größter Bedeutung. Wir sind ein ISO 9001:2015 zertifizierter Hersteller, der sicherstellt, dass unsere Prozesse internationale Qualitätsmanagementstandards erfüllen.Unsere Produkte durchlaufen zudem rigorose SGS-Prüfungen hinsichtlich Reinheit und Leistung. Wir verwenden hochreine Rohmaterialien (bis zu 99,998% SiO2), um Quarzglas- und Kieselglasprodukte mit außergewöhnlicher thermischer Stabilität, hoher Temperaturbeständigkeit und chemischer Inertheit herzustellen.
Wir haben unsere Prozesse maximal effizient gestaltet:
Senden Sie Ihre Angebotsanfrage (RFQ): Senden Sie uns Ihre technischen Zeichnungen, Spezifikationen und Anforderungen über unser Kontaktformular auf der Website oder per E-Mail.
Schnelle Reaktion: Sie können eine erste Antwort innerhalb weniger Minuten und eine detaillierte Kommunikation innerhalb einer halben Stunde erwarten.
Design & Angebot: Wir liefern Ihnen innerhalb von 24 Stunden einen detaillierten Designvorschlag und ein wettbewerbsfähiges Angebot.
Prototypenentwicklung & Produktion: Nach Freigabe gehen wir zügig von der Prototypenfertigung zur Serienproduktion über, um Ihre Fristen einzuhalten.
Eine Partnerschaft mit Aoxin Quartz bietet mehrere entscheidende Vorteile:
Nachgewiesene Expertise: Mit über 10 Jahren Branchenerfahrung verfügen wir über das technische Fachwissen, um komplexe Herausforderungen zu meistern.
One-Stop Solution: We manage the entire production process, from sourcing high-purity raw materials to fabricating and finishing complex components.
Wettbewerbsfähiger Wert: Als Standort in einem wichtigen Quarzproduktionszentrum nutzen wir eine effiziente Lieferkette und fortschrittliche Fertigung, um außergewöhnliche Qualität zu einem wettbewerbsfähigen Preis anzubieten.
Dedicated Partnership: Over 90% of our clients become long-term partners. We are committed to your success through responsive service, reliable quality, and innovative solutions.


























