Unsere hochreinen Quarzboot-Trägersysteme sind präzise gefertigte Fused Silica-Komponenten, die für die automatisierte Wafer-Handhabung in anspruchsvollen Halbleiterprozessen unerlässlich sind. Diese maßgeschneiderten Trägersysteme wurden für den stabilen und kontaminationsfreien Transfer von Quarzbooten oder Wafer-Cassetten zwischen Diffusionsöfen, Oxidationssystemen und Reinigungsstationen entwickelt und gewährleisten eine nahtlose Integration und zuverlässigen Betrieb. Durch die Nutzung der außergewöhnlichen thermischen Stabilität, chemischen Inertheit und ultra-niedrigen Verunreinigungsniveaus von Quarz optimieren unsere Lösungen die Effizienz und Ausbeute Ihrer Wafer-Verarbeitung.
Eigenschaftsinhalt | Eigenschaftswerte |
---|---|
SiO2 | 99.99% |
Dichte | 2,2×10³ kg/cm³ |
Härte | Mohs-Härte 5,5 - 6,5; Knoop-Härte 570 (bei 100 g Prüflast) |
Zugfestigkeit | 4,8 × 10⁷ Pa (48 N/mm² bzw. 48 MPa); 7.000 psi |
Druckfestigkeit | >1.1×10⁹ Pa (160,000 psi) |
Wärmeausdehnungskoeffizient | 5.5×10⁻⁷ cm/cm·°C (20°C-320°C) |
Wärmeleitfähigkeit | 1,4 W/m-°C |
Spezifische Wärme | 670 J/kg-°C |
Erweichungspunkt | 1730°C (3146°F) |
Transformationspunkt | 1210°C (2210°F) |
Spannungspunkt | 1120°C (2048°F) |
Arbeitstemperatur | 1200°C (2192°F) |
Elektrischer Widerstand | 7×10⁷ Ohm cm (350°C) |
Größe | Kundenspezifisch |
Logo | Personalisierung mit Logo |
Hohe Temperaturbeständigkeit
Quarz hat einen Schmelzpunkt von 1713 °C, was Quarz-Bootsträgern ermöglicht, in Hochtemperaturumgebungen stabil zu bleiben und den Anforderungen von Hochtemperaturprozessen in der Photovoltaik- und Halbleiterindustrie gerecht zu werden.
Korrosionsbeständigkeit
Quarz besitzt eine ausgezeichnete Beständigkeit gegenüber den meisten Säuren, Basen und organischen Lösungsmitteln, wodurch sichergestellt wird, dass Quarz-Bootsträger während chemischer Prozesse nicht leicht beschädigt werden.
Hohe Lichtdurchlässigkeit
Während die hohe Lichttransmission von Quarz häufig in optischen Anwendungen genutzt wird, manifestiert sich diese Eigenschaft bei Quarz-Bootsträgern hauptsächlich in deren kontrollierter Absorption und Reflexion von Licht, was zur Stabilität der Prozessumgebungen beiträgt.
Anwendungsszenario
Ein Quarz-Bootsträger ist eine Vorrichtung, die hauptsächlich zum Tragen und Stützen von Quarzbooten in Halbleiterfertigungsanlagen verwendet wird, insbesondere als Schlüsselkomponente in Diffusionsöfen der Photovoltaikindustrie.
Quarz-Bootsträger werden hauptsächlich in der Halbleiterfertigung, der Photovoltaikindustrie und anderen Sektoren eingesetzt, die die Verarbeitung von Siliziumwafern oder anderen dünnen Materialien erfordern. In der Halbleiterfertigung finden sie Anwendung in der Waferbearbeitung, bei Wärmebehandlungen und chemischen Reaktionsschritten.
Quarz-Bootsträger haben eine relativ kurze Lebensdauer (typischerweise 3-6 Monate), wohingegen Siliziumkarbid-Bootsträger eine längere Lebensdauer von potenziell 5 Jahren oder mehr aufweisen. Siliziumkarbid-Bootsträger ersetzen Quarz-Bootsträger unter bestimmten Bedingungen schrittweise, da sie eine überlegene Hochtemperaturfestigkeit und langanhaltende Haltbarkeit bieten.
Häufig gestellte Fragen
Wir sind auf die durchgängige Fertigung von hochreinen Quarzglaskomponenten spezialisiert. Unsere Kernproduktlinien umfassen:
Quarzrohre & -stäbe: Eine große Auswahl an Durchmessern und Spezifikationen.
Quarzplatten & -scheiben: Präzisionsgeschnitten und poliert für optische und industrielle Anwendungen.
Quarzlaborglas: Ein komplettes Sortiment an Standard- und kundenspezifischen Glasgeräten, einschließlich Bechergläsern, Kolben und Booten.
Halbleiterquarz: Hochreine Komponenten wie Prozessrohre und Träger für die Halbleiterfertigung.
Kundenspezifische Fertigungskomponenten: Wir können komplexe Teile nach Ihren einzigartigen Designs und Spezifikationen fertigen.
Ja. Kundenspezifische Fertigung ist das Herzstück unseres Geschäfts. Mit über einem Jahrzehnt spezialisierter Erfahrung arbeiten wir eng mit Unternehmen zusammen, um erstklassige OEM/ODM-Dienstleistungen anzubieten. Unsere Kompetenzen umfassen Schweißen, Schleifen, Bohren, Polieren, Biegen und weitere Präzisionsbearbeitungstechniken, um Komponenten zu fertigen, die exakt Ihren Anforderungen entsprechen.
Qualität ist in unserem Herstellungsprozess von größter Bedeutung. Wir sind ein ISO 9001:2015 zertifizierter Hersteller, der sicherstellt, dass unsere Prozesse internationale Qualitätsmanagementstandards erfüllen.Unsere Produkte durchlaufen zudem rigorose SGS-Prüfungen hinsichtlich Reinheit und Leistung. Wir verwenden hochreine Rohmaterialien (bis zu 99,998% SiO2), um Quarzglas- und Kieselglasprodukte mit außergewöhnlicher thermischer Stabilität, hoher Temperaturbeständigkeit und chemischer Inertheit herzustellen.
Wir haben unsere Prozesse maximal effizient gestaltet:
Senden Sie Ihre Angebotsanfrage (RFQ): Senden Sie uns Ihre technischen Zeichnungen, Spezifikationen und Anforderungen über unser Kontaktformular auf der Website oder per E-Mail.
Schnelle Reaktion: Sie können eine erste Antwort innerhalb weniger Minuten und eine detaillierte Kommunikation innerhalb einer halben Stunde erwarten.
Design & Angebot: Wir liefern Ihnen innerhalb von 24 Stunden einen detaillierten Designvorschlag und ein wettbewerbsfähiges Angebot.
Prototypenentwicklung & Produktion: Nach Freigabe gehen wir zügig von der Prototypenfertigung zur Serienproduktion über, um Ihre Fristen einzuhalten.
Eine Partnerschaft mit Aoxin Quartz bietet mehrere entscheidende Vorteile:
Nachgewiesene Expertise: Mit über 10 Jahren Branchenerfahrung verfügen wir über das technische Fachwissen, um komplexe Herausforderungen zu meistern.
One-Stop Solution: We manage the entire production process, from sourcing high-purity raw materials to fabricating and finishing complex components.
Wettbewerbsfähiger Wert: Als Standort in einem wichtigen Quarzproduktionszentrum nutzen wir eine effiziente Lieferkette und fortschrittliche Fertigung, um außergewöhnliche Qualität zu einem wettbewerbsfähigen Preis anzubieten.
Dedicated Partnership: Over 90% of our clients become long-term partners. We are committed to your success through responsive service, reliable quality, and innovative solutions.