Quartz boats, a commonly used piece of equipment in laboratory and industrial production, offer a range of excellent properties and diverse applications.
Eigenschaft Inhalt | Immobilienwerte |
---|---|
SiO2 | 99.99% |
Dichte | 2,2×10³ kg/cm³ |
Härte | 5,5 - 6,5 Mohs'sche Skala 570 KHN 100 |
Zugfestigkeit | 4,8×10⁷ Pa (N/mm2) (7000 psi) |
Druckfestigkeit | >1,1×10⁹ Pa (160.000 psi) |
Wärmeausdehnungskoeffizient | 5,5×10-⁷ cm/cm-°C (20°C-320°C) |
Wärmeleitfähigkeit | 1,4 W/m-°C |
Spezifische Wärme | 670 J/kg-°C |
Erweichungspunkt | 1730°C (3146°F) |
Glühpunkt | 1210°C (2210°F) |
Dehnungspunkt | 1120°C (2048°F) |
Arbeitstemperatur | 1200°C (2192°F) |
Elektrischer spezifischer Widerstand | 7×10⁷ Ohm cm (350°C) |
Größe | Kundenspezifisch |
Logo | Kundenspezifisches Logo akzeptieren |
Main Composition
Quartz boats are primarily made of high-purity quartz glass, with silicon dioxide (SiO2) as its main component. This material exhibits unique physical and chemical properties.
Hochtemperaturbeständigkeit
Quartz glass has exceptional high-temperature resistance, maintaining stability and resisting deformation or melting even in high-temperature environments. This makes quartz boats ideal for high-temperature processing.
Chemical Stability
Quartz glass possesses excellent chemical resistance to various substances, including acids and bases. This characteristic enables quartz boats to carry corrosive liquids and gases in chemical experiments.
Lichtübertragung
QQuartz glass provides good light transmission, allowing light to penetrate. This is highly useful in applications where it is necessary to observe internal reactions or conduct optical experiments.
Anwendungsszenario
A quartz boat is a high-temperature processing container used in semiconductor manufacturing. It is typically made of high-purity quartz glass and serves to hold silicon wafers during high-temperature processing.
When using a quartz boat, precautions regarding high-temperature safety, chemical corrosion protection, and adherence to operating procedures must be followed to ensure the safety of personnel and the normal functioning of the equipment.
Quartz boats can be customized to fit various silicon wafer sizes, ensuring the stability and safety of the wafers during high-temperature processing.
Häufig gestellte Fragen
Quarzglas ist ein hartes und sprödes Material mit ausgezeichneten physikalischen und chemischen Eigenschaften, extrem hoher mechanischer Härte, guter elektrischer Isolierung, hoher Temperatur- und Korrosionsbeständigkeit, geringer und stabiler Verzögerungsleistung, guter Lichtdurchlässigkeit usw. Es findet breite Anwendung in der Halbleiterindustrie, Optik, Elektrizität, Chemie, Luft- und Raumfahrt, Automobilindustrie und anderen Bereichen. Harte und spröde Werkstoffe sind schwer zu bearbeiten, und in vielen Bereichen werden dringend Schneidverfahren mit geringem Kanteneinbruch, geringem Materialverlust, geringer Querschnittsrauheit und einem großen Schnittdickenbereich benötigt. Das traditionelle Schneidverfahren für Quarzglas ist das mechanische Schneiden, d. h. das Scheibenschneiden. Zu den nicht-traditionellen Schneidverfahren gehören Wasserstrahlschneiden, elektrochemisches Drahterodieren, kontinuierliches Laserschneiden usw. Das mechanische Schneiden ist kostengünstig, aber der Kontakt zwischen der Scheibe und dem Material verursacht einen hohen Werkzeugverschleiß, und das Material wird leicht durch das Werkzeug verschmutzt. Quarzglas neigt zu Kanteneinbrüchen, Mikrorissen und Eigenspannungen, was die Festigkeit und Leistung des Materials beeinträchtigt! Das Schneiden von Kurven ist schwierig und erfordert Nachbearbeitungen wie Schleifen und Polieren. Das Laserschneiden kommt nicht direkt mit dem Material in Berührung, hat keine Kontaktspannungen und kann komplexe Kurvenschnitte durchführen. Der Pikosekundenlaser hat die Vorteile eines kleinen Punktdurchmessers, einer hohen Präzision, einer kurzen Einwirkungszeit auf das Material und eines kleinen Einwirkungsbereichs und eignet sich für die Bearbeitung von harten und spröden Materialien.
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