Quarzrohr
Quarzplatte
Quarzstange
Optische Anwendungen
Halbleiterindustrie
Laboratoriums- und Chemieanwendungen
Unsere hochreinen Quarz-Wafer-Annealing-Boote sind unverzichtbar für kritische thermische Prozesse in der Halbleiterfertigung, einschließlich Diffusion, Oxidation und Tempern. Gefertigt aus Premium-Quarzglas, bieten diese geschlitzten Boote eine außergewöhnliche Temperaturstabilität bei extremen Ofentemperaturen, eine extrem geringe Partikelgenerierung und eine überragende chemische Inertheit, um eine Kontamination empfindlicher Siliziumwafer zu verhindern. Entwickelt für die präzise Waferpositionierung und einen optimalen Gasfluss, bieten wir eine breite Palette von Standard- und kundenspezifischen Konfigurationen an, die sich nahtlos in Ihre spezifischen Ofensysteme und Prozessanforderungen integrieren lassen.
Anmerkungen:
- Zahlungsmethode: Per Banküberweisung oder Vorkasse, abhängig von der Bestellmenge.
- Lieferzeit: Abhängig von der Bestellmenge
- Transportmethode: Seefracht oder Luftfracht, abhängig vom Kunden
| Eigenschaftsinhalt | Eigenschaftswerte |
|---|---|
| SiO2 | 99.99% |
| Dichte | 2,2×10³ kg/cm³ |
| Härte | Mohs-Härte 5,5 - 6,5; Knoop-Härte 570 (bei 100 g Prüflast) |
| Zugfestigkeit | 4,8 × 10⁷ Pa (48 N/mm² bzw. 48 MPa); 7.000 psi |
| Druckfestigkeit | >1.1×10⁹ Pa (160,000 psi) |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 5.5×10⁻⁷ cm/cm·°C (20°C-320°C) |
| Wärmeleitfähigkeit | 1,4 W/m-°C |
| Spezifische Wärme | 670 J/kg-°C |
| Erweichungspunkt | 1730°C (3146°F) |
| Transformationspunkt | 1210°C (2210°F) |
| Spannungspunkt | 1120°C (2048°F) |
| Arbeitstemperatur | 1200°C (2192°F) |
| Elektrischer Widerstand | 7×10⁷ Ohm cm (350°C) |
| Größe | Kundenspezifisch |
| Logo | Personalisierung mit Logo |
Extreme Hochtemperaturstabilität & -beständigkeit
Gefertigt aus hochreinem Quarzglas, können diese Boote den intensiven, langanhaltenden Temperaturen standhalten, die in Halbleiterofenprozessen (z.B. Tempern, Diffusion, Oxidation) üblich sind, ohne sich zu verziehen, zu devitrifizieren oder auszugasen, wodurch eine konsistente und zuverlässige thermische Behandlung gewährleistet wird.
Extrem niedrige Kontamination & hohe Reinheit
Die inhärente hohe Reinheit von Quarz (SiO2 ≥ 99,99%) in Kombination mit fortschrittlichen Fertigungstechniken gewährleistet minimale Spurenelementverunreinigungen und Partikelgenerierung. Dies ist entscheidend, um eine Kontamination empfindlicher Siliziumwafer zu verhindern, welche die Bauteilausbeute und Leistung in der Mikroelektronik direkt beeinflusst.
Exzellente Temperaturwechselbeständigkeit
Der extrem niedrige Wärmeausdehnungskoeffizient von Quarz ermöglicht es diesen Booten, schnellen Heiz- und Kühlzyklen in Ofenumgebungen ohne Rissbildung oder Spannung standzuhalten, was zu einer längeren Lebensdauer und reduzierten Ausfallzeiten führt.
Präzises Schlitzdesign & Anpassbarkeit
Die präzise konstruierten Schlitze gewährleisten eine sichere und genaue Positionierung der Wafer, wodurch der Gasfluss und die Temperaturgleichmäßigkeit während des Prozesses optimiert werden. Darüber hinaus sind diese Boote hinsichtlich Wafergröße (z.B. 6″, 8″, 12″), Schlitzanzahl, Teilung und Gesamtabmessungen vollständig anpassbar, um sich nahtlos in spezifische Ofenkonfigurationen und Prozessanforderungen zu integrieren.
Anwendungsszenario
Halbleiter-Wafer-Diffusionsprozesse
Extensiv in Diffusionsöfen eingesetzt, um Siliziumwafer während der Hochtemperatur-Dotierung (z.B. mit Bor oder Phosphor) präzise zu halten und dabei ein gleichmäßiges Dotierungsprofil über den gesamten Wafer hinweg zu gewährleisten.
Wafer-Oxidationsprozesse
Unverzichtbar für das Wachstum dünner Siliziumdioxidschichten (SiO2) auf Wafern in Oxidationsöfen. Der Quarzboot gewährleistet die Waferintegrität und den Abstand, was ein gleichmäßiges Oxidwachstum ermöglicht, das für die Bauteilisolierung entscheidend ist.
Hochtemperatur-Wafer-Tempern
In Temperöfen eingesetzt, um Kristallgitterdefekte zu reparieren, implantierte Dotierstoffe zu aktivieren oder Spannungen in Wafern nach verschiedenen Fertigungsschritten abzubauen, alles bei erhöhten Temperaturen durchgeführt.
Niederdruck-chemische Gasphasenabscheidung (LPCVD)
Entscheidend für die Unterstützung von Wafern während der Abscheidung verschiedener Dünnschichten (z.B. Polysilizium, Siliziumnitrid, Siliziumdioxid) in LPCVD-Öfen, wobei die hohe Reinheit und Temperaturstabilität des Bootes Kontaminationen verhindern und eine gleichmäßige Schichtdicke gewährleisten.
Vorsicht beim Umgang
Quarzglasprodukte werden aus wertvollen Materialien hergestellt und müssen vorsichtig behandelt werden, um Kollisionen und Stürze zu vermeiden.
Regelmäßige Wartung
Die Wartung von Quarzrohren muss regelmäßig durchgeführt werden, um deren langfristig stabile Leistung zu gewährleisten. Überprüfen Sie regelmäßig die Anschlüsse, Befestigungen und mechanischen Vibrationen der Quarzrohre, um Anomalien vorzubeugen. Die Außenseite der Quarzrohre ist anfällig für Verunreinigungen durch Staub und Feuchtigkeit, daher sollten sie regelmäßig gereinigt werden
Lagerumgebung
Bei der Lagerung von Quarzrohren ist darauf zu achten, dass sie keinen mechanischen Vibrationen, Stößen und übermäßig hohen Temperaturen ausgesetzt werden, um Materialdegradation zu verhindern. Sie sollten an einem trockenen, kühlen und gut belüfteten Ort gelagert werden, wobei direkte Sonneneinstrahlung und Hochtemperaturumgebungen zu vermeiden sind.
Ja, unsere Quarz-Wafer-Annealing-Boote sind akribisch mit präzisen Abmessungen und einer robusten Konstruktion entworfen, um eine nahtlose Integration in die meisten Standard-Systeme für die automatisierte Ofenbeladung und -entladung, einschließlich Cantilever- und Paddle-Mechanismen, zu gewährleisten. Dies ermöglicht einen effizienten und zuverlässigen Wafertransfer in Umgebungen der Halbleiter-Großserienfertigung.
Die Lebensdauer eines Quarz-Wafer-Bootes variiert je nach spezifischen Prozessparametern wie Temperatur, Zyklushäufigkeit und chemischer Exposition. Bei ordnungsgemäßer Handhabung und routinemäßiger Wartung können sie jedoch viele Jahre halten. Eine regelmäßige Reinigung (z.B. mit verdünnter Flusssäure oder anderen geeigneten Ätzmitteln) ist unerlässlich, um abgelagerte Schichten zu entfernen und eine Devitrifikation zu verhindern, was ihre Betriebslebensdauer erheblich verlängern und die Prozessintegrität aufrechterhalten kann.
Die präzisionsgefertigten Schlitze und die insgesamt offene Rahmenkonstruktion des Quarzbootes sind speziell darauf ausgelegt, einen optimalen und gleichmäßigen Gasfluss um jede Wafer zu ermöglichen. Dies gewährleistet eine konsistente Temperaturverteilung über alle Wafer innerhalb des Bootes und im gesamten Ofenrohr, was entscheidend ist für die Erzielung einer gleichmäßigen Schichtabscheidung, Dotierungsprofile und der gesamten Prozesswiederholbarkeit während Hochtemperatur-Wärmebehandlungen wie Diffusion und Oxidation.
Laserbohren von Quarzglas
Gewindequarzrohr
Außengewinde an Quarzglasrohr
Quarzglasrohr mit Innengewinde
Quarzglasrohr mit Schlitzen
Fenster an Quarzglasrohr
Quarzglasrohr mit Schrägschnitt
Quarzfliese
Quarzglasrohr mit Fenster
Häufig gestellte Fragen
Wir sind auf die durchgängige Fertigung von hochreinen Quarzglaskomponenten spezialisiert. Unsere Kernproduktlinien umfassen:
Quarzrohre & -stäbe: Eine große Auswahl an Durchmessern und Spezifikationen.
Quarzplatten & -scheiben: Präzisionsgeschnitten und poliert für optische und industrielle Anwendungen.
Quarzlaborglas: Ein komplettes Sortiment an Standard- und kundenspezifischen Glasgeräten, einschließlich Bechergläsern, Kolben und Booten.
Halbleiterquarz: Hochreine Komponenten wie Prozessrohre und Träger für die Halbleiterfertigung.
Kundenspezifische Fertigungskomponenten: Wir können komplexe Teile nach Ihren einzigartigen Designs und Spezifikationen fertigen.
Ja. Kundenspezifische Fertigung ist das Herzstück unseres Geschäfts. Mit über einem Jahrzehnt spezialisierter Erfahrung arbeiten wir eng mit Unternehmen zusammen, um erstklassige OEM/ODM-Dienstleistungen anzubieten. Unsere Kompetenzen umfassen Schweißen, Schleifen, Bohren, Polieren, Biegen und weitere Präzisionsbearbeitungstechniken, um Komponenten zu fertigen, die exakt Ihren Anforderungen entsprechen.
Qualität ist in unserem Herstellungsprozess von größter Bedeutung. Wir sind ein ISO 9001:2015 zertifizierter Hersteller, der sicherstellt, dass unsere Prozesse internationale Qualitätsmanagementstandards erfüllen.Unsere Produkte durchlaufen zudem rigorose SGS-Prüfungen hinsichtlich Reinheit und Leistung. Wir verwenden hochreine Rohmaterialien (bis zu 99,998% SiO2), um Quarzglas- und Kieselglasprodukte mit außergewöhnlicher thermischer Stabilität, hoher Temperaturbeständigkeit und chemischer Inertheit herzustellen.
Wir haben unsere Prozesse maximal effizient gestaltet:
Senden Sie Ihre Angebotsanfrage (RFQ): Senden Sie uns Ihre technischen Zeichnungen, Spezifikationen und Anforderungen über unser Kontaktformular auf der Website oder per E-Mail.
Schnelle Reaktion: Sie können eine erste Antwort innerhalb weniger Minuten und eine detaillierte Kommunikation innerhalb einer halben Stunde erwarten.
Design & Angebot: Wir liefern Ihnen innerhalb von 24 Stunden einen detaillierten Designvorschlag und ein wettbewerbsfähiges Angebot.
Prototypenentwicklung & Produktion: Nach Freigabe gehen wir zügig von der Prototypenfertigung zur Serienproduktion über, um Ihre Fristen einzuhalten.
Eine Partnerschaft mit Aoxin Quartz bietet mehrere entscheidende Vorteile:
Nachgewiesene Expertise: Mit über 10 Jahren Branchenerfahrung verfügen wir über das technische Fachwissen, um komplexe Herausforderungen zu meistern.
One-Stop Solution: We manage the entire production process, from sourcing high-purity raw materials to fabricating and finishing complex components.
Wettbewerbsfähiger Wert: Als Standort in einem wichtigen Quarzproduktionszentrum nutzen wir eine effiziente Lieferkette und fortschrittliche Fertigung, um außergewöhnliche Qualität zu einem wettbewerbsfähigen Preis anzubieten.
Dedicated Partnership: Over 90% of our clients become long-term partners. We are committed to your success through responsive service, reliable quality, and innovative solutions.
