Quarzrohr
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Quarzstange
Optische Anwendungen
Halbleiterindustrie
Laboratoriums- und Chemieanwendungen
Unsere hochreinen Quarz-Waferboote sind unerlässlich für das präzise Wafer-Handling in anspruchsvollen Halbleiter- und Solarprozessen. Hergestellt aus Quarzglas, gewährleisten sie minimale Kontamination und außergewöhnliche Haltbarkeit bei Hochtemperatur-Diffusions-, Oxidations- und Glühprozessen. Kundenspezifische Lösungen sind verfügbar, um Ihre spezifischen Fertigungsanforderungen zu erfüllen.
| Eigenschaftsinhalt | Eigenschaftswerte |
|---|---|
| SiO2 | 99.99% |
| Dichte | 2,2×10³ kg/cm³ |
| Härte | Mohs-Härte 5,5 - 6,5; Knoop-Härte 570 (bei 100 g Prüflast) |
| Zugfestigkeit | 4,8 × 10⁷ Pa (48 N/mm² bzw. 48 MPa); 7.000 psi |
| Druckfestigkeit | >1.1×10⁹ Pa (160,000 psi) |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 5.5×10⁻⁷ cm/cm·°C (20°C-320°C) |
| Wärmeleitfähigkeit | 1,4 W/m-°C |
| Spezifische Wärme | 670 J/kg-°C |
| Erweichungspunkt | 1730°C (3146°F) |
| Transformationspunkt | 1210°C (2210°F) |
| Spannungspunkt | 1120°C (2048°F) |
| Arbeitstemperatur | 1200°C (2192°F) |
| Elektrischer Widerstand | 7×10⁷ Ohm cm (350°C) |
| Größe | Kundenspezifisch |
| Logo | Personalisierung mit Logo |
Hohe Temperaturbeständigkeit
Quarz-Waferboote können den in der Halbleiterfertigung auftretenden Hochtemperaturumgebungen standhalten und tolerieren typischerweise Temperaturen von bis zu 1100 Grad Celsius und darüber.
Hochreines Material
Quarz-Waferboote werden aus hochreinem Quarzglas gefertigt, das in der Regel eine Reinheit von über 99,999% aufweist, um sicherzustellen, dass während der Halbleiterfertigung keine Verunreinigungen eingebracht werden.
Chemische Stabilität
Quarz-Waferboote sind gegenüber einer Vielzahl von Chemikalien inert, behalten ihre Stabilität in verschiedenen chemischen Umgebungen bei und reagieren nicht mit Chemikalien, die in Halbleiterprozessen verwendet werden.
Ausgezeichnete optische Eigenschaften
Quarz-Waferboote besitzen eine ausgezeichnete optische Transmission, wodurch Licht im Ultraviolett- bis Infrarotspektrum durchgelassen wird. Dies ist entscheidend für Halbleiterfertigungsprozesse, die eine optische Inspektion erfordern.
Anwendungsszenario
Hochtemperaturprozesse
Quarz-Waferboote spielen eine entscheidende Rolle in Halbleiterfertigungsprozessen, die eine Hochtemperaturbehandlung erfordern, wie Diffusion und Oxidation. Sie bleiben bei Temperaturen über 300 °C stabil, verhindern Schmelzen oder Verformung und gewährleisten so die Sicherheit der Siliziumwafer.
Glühprozesse
In der Halbleiterfertigung wird das Glühen (Annealing) eingesetzt, um Materialeigenschaften durch Erwärmung wiederherzustellen oder zu verändern. Quarz-Waferboote sind aufgrund ihrer Stabilität bei hohen Temperaturen eine ideale Wahl für diesen Prozess.
Reinigungs- und chemische Prozesse
Quarz-Waferboote weisen während der Reinigungs- und chemischen Prozesse, bei denen Chips mit sauren Lösungen behandelt werden könnten, eine ausgezeichnete chemische Stabilität auf und schützen die Chips vor Korrosion.
Hochtemperaturzonenkomponenten
Im Halbleiterbereich werden Quarz-Waferboote als Komponenten in Hochtemperaturzonen eingesetzt, hauptsächlich für Ofenrohre und Bootgestelle, die in Prozessen wie Diffusion und Oxidation verwendet werden. Sie kommen in Hochtemperaturumgebungen direkt oder indirekt mit Siliziumwafern in Kontakt.
Das Primärmaterial von Quarz-Waferbooten ist hochreines Quarzglas, das einen extrem hohen Anteil an Siliziumdioxid (SiO₂) enthält und typischerweise eine Reinheit von über 99,999% aufweist. Dieses hochreine Quarzglas stellt sicher, dass während der Halbleiterfertigung keine Verunreinigungen eingebracht werden, während es gleichzeitig eine ausgezeichnete Hochtemperaturbeständigkeit und chemische Stabilität aufweist.
Quarz-Waferboote dienen primär als Werkzeuge zum Tragen und Transportieren von Siliziumwafern in der Halbleiterfertigung. Sie werden in kritischen Prozessschritten wie der Hochtemperaturbehandlung, Reinigung und chemischen Verarbeitung eingesetzt, um die Stabilität und Sicherheit der Siliziumwafer zu gewährleisten. Die Hochtemperaturbeständigkeit und chemische Stabilität von Quarz-Waferbooten sind entscheidend für die Sicherstellung der Produktqualität in der Halbleiterfertigung.
Die Lebensdauer von Quarz-Waferbooten wird von verschiedenen Faktoren beeinflusst, darunter die Nutzungshäufigkeit, Temperatur und chemische Umgebung. Im Allgemeinen können Quarz-Waferboote bei ordnungsgemäßer Verwendung und Wartung mehrfach wiederverwendet werden. Bei erhöhter Nutzung können sie jedoch aufgrund von Verschleiß, Kontamination oder der Bildung von Mikrorissen allmählich an Leistung verlieren. Ein Austausch des Waferboots wird notwendig, um die Prozessstabilität und Produktzuverlässigkeit zu gewährleisten. Die spezifische Lebensdauer muss anhand der tatsächlichen Einsatz- und Wartungsbedingungen bestimmt werden.
Häufig gestellte Fragen
Wir sind auf die durchgängige Fertigung von hochreinen Quarzglaskomponenten spezialisiert. Unsere Kernproduktlinien umfassen:
Quarzrohre & -stäbe: Eine große Auswahl an Durchmessern und Spezifikationen.
Quarzplatten & -scheiben: Präzisionsgeschnitten und poliert für optische und industrielle Anwendungen.
Quarzlaborglas: Ein komplettes Sortiment an Standard- und kundenspezifischen Glasgeräten, einschließlich Bechergläsern, Kolben und Booten.
Halbleiterquarz: Hochreine Komponenten wie Prozessrohre und Träger für die Halbleiterfertigung.
Kundenspezifische Fertigungskomponenten: Wir können komplexe Teile nach Ihren einzigartigen Designs und Spezifikationen fertigen.
Ja. Kundenspezifische Fertigung ist das Herzstück unseres Geschäfts. Mit über einem Jahrzehnt spezialisierter Erfahrung arbeiten wir eng mit Unternehmen zusammen, um erstklassige OEM/ODM-Dienstleistungen anzubieten. Unsere Kompetenzen umfassen Schweißen, Schleifen, Bohren, Polieren, Biegen und weitere Präzisionsbearbeitungstechniken, um Komponenten zu fertigen, die exakt Ihren Anforderungen entsprechen.
Qualität ist in unserem Herstellungsprozess von größter Bedeutung. Wir sind ein ISO 9001:2015 zertifizierter Hersteller, der sicherstellt, dass unsere Prozesse internationale Qualitätsmanagementstandards erfüllen.Unsere Produkte durchlaufen zudem rigorose SGS-Prüfungen hinsichtlich Reinheit und Leistung. Wir verwenden hochreine Rohmaterialien (bis zu 99,998% SiO2), um Quarzglas- und Kieselglasprodukte mit außergewöhnlicher thermischer Stabilität, hoher Temperaturbeständigkeit und chemischer Inertheit herzustellen.
Wir haben unsere Prozesse maximal effizient gestaltet:
Senden Sie Ihre Angebotsanfrage (RFQ): Senden Sie uns Ihre technischen Zeichnungen, Spezifikationen und Anforderungen über unser Kontaktformular auf der Website oder per E-Mail.
Schnelle Reaktion: Sie können eine erste Antwort innerhalb weniger Minuten und eine detaillierte Kommunikation innerhalb einer halben Stunde erwarten.
Design & Angebot: Wir liefern Ihnen innerhalb von 24 Stunden einen detaillierten Designvorschlag und ein wettbewerbsfähiges Angebot.
Prototypenentwicklung & Produktion: Nach Freigabe gehen wir zügig von der Prototypenfertigung zur Serienproduktion über, um Ihre Fristen einzuhalten.
Eine Partnerschaft mit Aoxin Quartz bietet mehrere entscheidende Vorteile:
Nachgewiesene Expertise: Mit über 10 Jahren Branchenerfahrung verfügen wir über das technische Fachwissen, um komplexe Herausforderungen zu meistern.
One-Stop Solution: We manage the entire production process, from sourcing high-purity raw materials to fabricating and finishing complex components.
Wettbewerbsfähiger Wert: Als Standort in einem wichtigen Quarzproduktionszentrum nutzen wir eine effiziente Lieferkette und fortschrittliche Fertigung, um außergewöhnliche Qualität zu einem wettbewerbsfähigen Preis anzubieten.
Dedicated Partnership: Over 90% of our clients become long-term partners. We are committed to your success through responsive service, reliable quality, and innovative solutions.
