Quarzrohr
Quarzplatte
Quarzstange
Optische Anwendungen
Halbleiterindustrie
Laboratoriums- und Chemieanwendungen
Unsere hochreinen Quarz-Wafer-Reinigungsbecken und Nassprozessbäder werden sorgfältig für die kritischsten Anwendungen in der Halbleiter-, Photovoltaik- und Mikroelektronikfertigung entwickelt. Gefertigt aus ultrareinem Quarzglas, bieten diese Becken eine beispiellose chemische Beständigkeit gegenüber starken Säuren, Basen und aggressiven Reinigungslösungen, wodurch eine metallische oder partikuläre Kontamination Ihrer empfindlichen Wafer und Komponenten vollständig vermieden wird. Ihr robustes, transparentes Design ermöglicht eine präzise Prozessüberwachung und einfache Reinigung und bietet eine zuverlässige und kontaminationsfreie Umgebung für Ätz-, Spül- und RCA-Reinigungsprozesse. Erhältlich mit oder ohne integrierte Racks und vollständig an spezifische Wafergrößen, Prozessvolumina und Ausrüstungsanforderungen anpassbar.
Anmerkungen:
- Zahlungsmethode: Per Banküberweisung oder Vorkasse, abhängig von der Bestellmenge.
- Lieferzeit: Abhängig von der Bestellmenge
- Transportmethode: Seefracht oder Luftfracht, abhängig vom Kunden
| Eigenschaftsinhalt | Eigenschaftswerte |
|---|---|
| SiO2 | 99.99% |
| Dichte | 2,2×10³ kg/cm³ |
| Härte | Mohs-Härte 5,5 - 6,5; Knoop-Härte 570 (bei 100 g Prüflast) |
| Zugfestigkeit | 4,8 × 10⁷ Pa (48 N/mm² bzw. 48 MPa); 7.000 psi |
| Druckfestigkeit | >1.1×10⁹ Pa (160,000 psi) |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 5.5×10⁻⁷ cm/cm·°C (20°C-320°C) |
| Wärmeleitfähigkeit | 1,4 W/m-°C |
| Spezifische Wärme | 670 J/kg-°C |
| Erweichungspunkt | 1730°C (3146°F) |
| Transformationspunkt | 1210°C (2210°F) |
| Spannungspunkt | 1120°C (2048°F) |
| Arbeitstemperatur | 1200°C (2192°F) |
| Elektrischer Widerstand | 7×10⁷ Ohm cm (350°C) |
| Größe | Kundenspezifisch |
| Logo | Personalisierung mit Logo |
Höchstreinheit & Kontaminationsfreiheit
Gefertigt aus 99,99% reinem Quarzglas (Fused Silica), gewährleisten diese Tanks praktisch keine Auslaugung von Metallionen oder Partikelkontamination in Prozesschemikalien. Dies ist absolut entscheidend, um die strengen Reinheitsanforderungen in der Halbleiter-, Mikroelektronik- und fortschrittlichen Materialfertigung zu erfüllen.
Herausragende chemische Korrosionsbeständigkeit
Quarz zeigt eine hervorragende Inertheit gegenüber einer Vielzahl aggressiver Säuren, starker Basen und organischer Lösungsmittel, die üblicherweise bei der Waferreinigung, Ätzung und Nassprozessierung eingesetzt werden. Dies verlängert die Lebensdauer des Tanks, reduziert die Ersatzkosten und gewährleistet die Prozesskonsistenz.
Optimale Prozesssichtbarkeit & -steuerung
Die inhärente Transparenz von Quarz ermöglicht eine klare visuelle Überwachung des Reinigungs- oder Ätzprozesses, was die Echtzeitbeobachtung von chemischen Reaktionen und Fluiddynamiken erlaubt. Dies unterstützt die Prozessoptimierung und Qualitätskontrolle und gewährleistet präzise und reproduzierbare Ergebnisse.
Robuste Konstruktion & Anpassbarkeit
Diese Tanks, gefertigt aus starkem, langlebigem Quarzglas, bieten eine exzellente mechanische Festigkeit und thermische Stabilität. Entscheidend ist, dass sie hinsichtlich Abmessungen, Volumen, interner Rack-Konfigurationen (zur Waferhalterung) und Anschlussdesigns vollständig anpassbar sind, was eine nahtlose Integration in bestehende Nassbänke und maßgeschneiderte Lösungen für spezifische Prozessanforderungen ermöglicht.
Anwendungsszenario
Halbleiter-Waferreinigung (z.B. RCA-Reinigung)
Unerlässlich für die Durchführung verschiedener Schritte der Waferreinigung, einschließlich der Industriestandard-RCA-Reinigung (Radio Corporation of America), bei der mehrere Tanks mit spezifischen chemischen Lösungen (z.B. SC-1, SC-2, verdünnte HF) verwendet werden, um organische, metallische und partikuläre Verunreinigungen von Siliziumwafern zu entfernen.
Chemisches Ätzen & Oberflächenvorbereitung
Eingesetzt für das Präzisionsätzen von Halbleiterwafern, Glassubstraten oder anderen empfindlichen Materialien, bei dem ein kontrollierter Materialabtrag oder eine Oberflächenmodifikation mittels hochkorrosiver Ätzmittel erreicht wird. Der Quarztank gewährleistet ein gleichmäßiges Ätzen und keine Kontamination.
Photovoltaik-(Solarzellen-)Fertigung
Eingesetzt in den Nassprozessschritten der Solarzellenproduktion, wie der Texturierung, Reinigung und dem chemischen Polieren von Siliziumwafern, um die Effizienz zu steigern und die Oberfläche für nachfolgende Schichten vorzubereiten.
MEMS- & Mikrofluidik-Fertigung
Entscheidend für die Reinigungs- und Nassätzprozesse bei der Herstellung von Mikro-Elektro-Mechanischen Systemen (MEMS) und mikrofluidischen Bauelementen, wo extrem kleine Strukturen und eine hohe Materialreinheit erforderlich sind.
Vorsicht beim Umgang
Quarzglasprodukte werden aus wertvollen Materialien hergestellt und müssen vorsichtig behandelt werden, um Kollisionen und Stürze zu vermeiden.
Regelmäßige Wartung
Die Wartung von Quarzrohren muss regelmäßig durchgeführt werden, um deren langfristig stabile Leistung zu gewährleisten. Überprüfen Sie regelmäßig die Anschlüsse, Befestigungen und mechanischen Vibrationen der Quarzrohre, um Anomalien vorzubeugen. Die Außenseite der Quarzrohre ist anfällig für Verunreinigungen durch Staub und Feuchtigkeit, daher sollten sie regelmäßig gereinigt werden
Lagerumgebung
Bei der Lagerung von Quarzrohren ist darauf zu achten, dass sie keinen mechanischen Vibrationen, Stößen und übermäßig hohen Temperaturen ausgesetzt werden, um Materialdegradation zu verhindern. Sie sollten an einem trockenen, kühlen und gut belüfteten Ort gelagert werden, wobei direkte Sonneneinstrahlung und Hochtemperaturumgebungen zu vermeiden sind.
Ja, hochreines Quarz bietet eine außergewöhnliche chemische Beständigkeit gegenüber den meisten konzentrierten Säuren (einschließlich Salpeter-, Schwefel-, Salzsäure) und starken Basen, die üblicherweise in Halbleiter- und industriellen Reinigungsprozessen verwendet werden. Diese Inertheit gewährleistet die Langlebigkeit des Tanks und verhindert die Kontamination Ihrer wertvollen Chemikalien und Wafer. Eine längere Exposition gegenüber heißer konzentrierter Flusssäure (HF) oder heißer konzentrierter Phosphorsäure kann jedoch mit der Zeit zu Ätzungen führen.
Dank der glatten, porenfreien Oberfläche von Quarz sind diese Tanks relativ leicht zu reinigen. Regelmäßiges Spülen mit deionisiertem (DI) Wasser nach Gebrauch wird empfohlen. Für hartnäckigere Rückstände können milde Reinigungsmittel oder geeignete verdünnte Reinigungslösungen verwendet werden. Vermeiden Sie abrasive Bürsten oder Reiniger, die die Oberfläche zerkratzen könnten. Eine ordnungsgemäße Handhabung zur Vermeidung von Stößen oder Thermoschocks (obwohl Quarz eine ausgezeichnete Beständigkeit aufweist) gewährleistet eine maximale Lebensdauer.
Das Design variiert; einige Tanks sind als integrierte Systeme mit fest installierten internen Racks konzipiert, während andere als Bäder ausgeführt sind, in die separate, herausnehmbare Quarz-Racks eingesetzt werden können. Wir bieten beide Typen an, und was wichtig ist, unsere Produkte sind hochgradig anpassbar. Wenn Sie spezifische Wafergrößen, Prozessvolumina oder einzigartige Rack-Konfigurationen im Sinn haben, können wir ein System entwerfen und fertigen, das Ihre Anforderungen präzise erfüllt, einschließlich herausnehmbarer oder spezialisierter Rack-Designs.
Laserbohren von Quarzglas
Gewindequarzrohr
Außengewinde an Quarzglasrohr
Quarzglasrohr mit Innengewinde
Quarzglasrohr mit Schlitzen
Fenster an Quarzglasrohr
Quarzglasrohr mit Schrägschnitt
Quarzfliese
Quarzglasrohr mit Fenster
Häufig gestellte Fragen
Wir sind auf die durchgängige Fertigung von hochreinen Quarzglaskomponenten spezialisiert. Unsere Kernproduktlinien umfassen:
Quarzrohre & -stäbe: Eine große Auswahl an Durchmessern und Spezifikationen.
Quarzplatten & -scheiben: Präzisionsgeschnitten und poliert für optische und industrielle Anwendungen.
Quarzlaborglas: Ein komplettes Sortiment an Standard- und kundenspezifischen Glasgeräten, einschließlich Bechergläsern, Kolben und Booten.
Halbleiterquarz: Hochreine Komponenten wie Prozessrohre und Träger für die Halbleiterfertigung.
Kundenspezifische Fertigungskomponenten: Wir können komplexe Teile nach Ihren einzigartigen Designs und Spezifikationen fertigen.
Ja. Kundenspezifische Fertigung ist das Herzstück unseres Geschäfts. Mit über einem Jahrzehnt spezialisierter Erfahrung arbeiten wir eng mit Unternehmen zusammen, um erstklassige OEM/ODM-Dienstleistungen anzubieten. Unsere Kompetenzen umfassen Schweißen, Schleifen, Bohren, Polieren, Biegen und weitere Präzisionsbearbeitungstechniken, um Komponenten zu fertigen, die exakt Ihren Anforderungen entsprechen.
Qualität ist in unserem Herstellungsprozess von größter Bedeutung. Wir sind ein ISO 9001:2015 zertifizierter Hersteller, der sicherstellt, dass unsere Prozesse internationale Qualitätsmanagementstandards erfüllen.Unsere Produkte durchlaufen zudem rigorose SGS-Prüfungen hinsichtlich Reinheit und Leistung. Wir verwenden hochreine Rohmaterialien (bis zu 99,998% SiO2), um Quarzglas- und Kieselglasprodukte mit außergewöhnlicher thermischer Stabilität, hoher Temperaturbeständigkeit und chemischer Inertheit herzustellen.
Wir haben unsere Prozesse maximal effizient gestaltet:
Senden Sie Ihre Angebotsanfrage (RFQ): Senden Sie uns Ihre technischen Zeichnungen, Spezifikationen und Anforderungen über unser Kontaktformular auf der Website oder per E-Mail.
Schnelle Reaktion: Sie können eine erste Antwort innerhalb weniger Minuten und eine detaillierte Kommunikation innerhalb einer halben Stunde erwarten.
Design & Angebot: Wir liefern Ihnen innerhalb von 24 Stunden einen detaillierten Designvorschlag und ein wettbewerbsfähiges Angebot.
Prototypenentwicklung & Produktion: Nach Freigabe gehen wir zügig von der Prototypenfertigung zur Serienproduktion über, um Ihre Fristen einzuhalten.
Eine Partnerschaft mit Aoxin Quartz bietet mehrere entscheidende Vorteile:
Nachgewiesene Expertise: Mit über 10 Jahren Branchenerfahrung verfügen wir über das technische Fachwissen, um komplexe Herausforderungen zu meistern.
One-Stop Solution: We manage the entire production process, from sourcing high-purity raw materials to fabricating and finishing complex components.
Wettbewerbsfähiger Wert: Als Standort in einem wichtigen Quarzproduktionszentrum nutzen wir eine effiziente Lieferkette und fortschrittliche Fertigung, um außergewöhnliche Qualität zu einem wettbewerbsfähigen Preis anzubieten.
Dedicated Partnership: Over 90% of our clients become long-term partners. We are committed to your success through responsive service, reliable quality, and innovative solutions.
